避免晶圆加热过程中的二次污染问题
在高频生产模式下，红外灯损坏无疑是个大麻烦。但问题不仅仅在于设备停机时间而已。更糟糕的是，当石英管破裂时，玻璃碎片和化学物质会溅到晶圆上，从而导致二次污染。这种情况可能瞬间毁掉整批产品。我们设计的加热系统就是为了防止这种事情发生。
找到最佳平衡点：距离与热量
在热量强度与安全性之间始终存在平衡问题。你希望灯能尽可能靠近晶圆，以获得足够的高温，但如果距离过近，热膨胀会导致灯管与晶圆接触。我们不会凭直觉来决定这一点，而是根据功率和灯管直径来计算出合适的距离，从而确保有足够的缓冲空间。
此外，高功率的灯管会产生极高的温度，如果固定装置不够坚固，就可能会变形。因此，我们会使用那些在受热时不易膨胀的材料，这样才能保持灯管的稳定位置。
还有一个小贴士：要注意冷却系统。如果冷却系统无法有效散热，灯管就会更快损坏，此时出现爆炸的风险也会大大增加。
防止杂质接触晶圆
为避免碎屑接触到晶圆，我们会在加热元件与晶圆之间设置一道物理屏障。我们会使用高纯度的石英材料作为屏障，这样即使灯管破裂，碎片也会被截留下来，从而保护晶圆不受污染。其实很简单而已。
我们还会严格控制进入机器的组件质量。在加热区域附近，绝对不允许使用低质量的粘合剂或密封材料。因为这些材料在受热后会释放出有害气体，从而在晶圆上留下难以清除的残留物。从R7连接器到各种支撑结构，每一个部件都是经过精心挑选的，以确保不会向晶圆中释放任何化学物质。
替代方案
不过，添加防护屏障确实会减少一部分红外能量，从而导致加热效率略有下降。为弥补这一缺陷，可能需要提高功率或调整工作周期。不过，这其实是值得的代价。与其因为一个灯管损坏而浪费整批产品，不如多花一点时间来处理这个问题。