Memastikan pengukuran suhu yang tepat di fasiliti pengeluaran wafer
Jika anda masih bergantung pada kaedah pengambilan sampel secara manual di fasiliti pengeluaran wafer anda, maka anda sebenarnya sedang bertindak tanpa maklumat yang tepat. Anda perlu melihat apa yang berlaku secara masa nyata. Itulah sebabnya sensor IR berketepatan tinggi sangat diperlukan. Ia membolehkan kita mengukur suhu permukaan wafer tanpa perlu menyentuhnya sama sekali.
Itulah satu-satunya cara untuk melakukannya. Jika anda cuba menyentuh wafer semasa proses pemanasan berlangsung, ia akan menyebabkan kotoran atau tekanan mekanikal pada wafer tersebut. Tiada siapa yang mahu hal ini berlaku.
Cabaran yang berkaitan dengan prinsip fizik
Thermocouple biasa tidak sesuai digunakan untuk wafer bersaiz 300mm. Ia terlalu lambat dan mengganggu proses pengukuran.
Sistem IR pula berfungsi dengan menangkap radiasi elektromagnetik yang dipancarkan oleh silikon. Namun, ada satu masalah: kita perlu mengambil kira faktor emisiviti. Bahan tersebut akan berubah apabila dipanaskan, dan bacaan suhu juga akan berubah. Kita perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan sensor agar dapat mengabaikan “bunyi bising” yang datang daripada dinding ketuhar. Kita ingin tahu keadaan sebenar wafer, bukan suhu bilik tersebut.
Menggunakan data tersebut dengan efektif
Sensor yang hanya memberikan angka pada skrin tidaklah begitu berguna. Kita perlu sambungkan sensor tersebut terus ke sistem PLC atau SCADA. Dengan cara ini, sistem akan dapat bertindak balas dengan cepat. Jika sensor mengesan kawasan sejuk pada permukaan wafer, sistem akan menyesuaikan suhu pemanasan dalam masa beberapa milisaat. Dengan cara ini, kita tidak perlu lagi membuat tekaan.
Realiti yang perlu dihadapi
Ketepatan pengukuran bukanlah sesuatu yang percuma. Ia memerlukan ruang yang mencukupi dan juga mempunyai beberapa kelemahan. Sensor IR memerlukan pandangan yang jelas. Jika tingkap ketuhar menjadi keruh akibat wap kimia atau bahan sampingan, data yang diperoleh akan menjadi tidak tepat. Ini sangat menjengkelkan, tetapi ia memang boleh berlaku.
Itulah sebabnya anda perlu memiliki sistem pembersihan gas yang baik untuk lensa sensor tersebut. Pastikan optiknya bersih. Sejujurnya, sensor yang paling mahal sekalipun akan menjadi tidak berguna jika ia digunakan melalui tingkap yang kotor. Anda akan mendapat data yang tidak berguna sahaja.