Hentikan sistem pengeringan wafer daripada berfungsi seperti ketuhar
Jika anda menggunakan lampu IR berkuasa tinggi untuk proses pengeringan wafer, anda pasti tahu betapa sukar rasanya mengawal suhu yang dihasilkan. Panas tersebut tidak akan menuju ke tempat yang diinginkan. Tanpa reflektor yang sesuai, sinaran IR tersebut akan tersebar ke merata-rata tempat. Akibatnya, bahagian dalam alat tersebut akan menjadi sangat panas sehingga boleh membahayakan orang yang berada di sekitarnya. Elektronik yang digunakan juga akan rosak akibat perubahan suhu yang drastik. Ini merupakan situasi yang sangat kacau.
Cara untuk mengarahkan panas ke tempat yang sepatutnya
Penyelesaiannya agak mudah: kita gunakan reflektor yang tepat untuk mengarahkan tenaga IR tersebut ke arah yang diinginkan. Bayangkanlah ia seperti lampu suluh yang memfokuskan cahayanya ke satu titik tertentu, bukannya membiarkan cahaya tersebut menerangi seluruh bilik. Dengan cara ini, panas tersebut akan sampai ke permukaan wafer dengan tepat, sementara udara dan struktur logam di sekelilingnya tetap sejuk.
Bahan-bahan yang digunakan
Kebanyakan masa, kita menggunakan aluminium berkualiti tinggi. Ia merupakan bahan yang paling sesuai untuk proses pengeringan wafer. Jika anda mempunyai bajet yang lebih banyak dan memerlukan reflektiviti yang maksimum untuk gelombang IR pendek atau sederhana, anda boleh menggunakan substrat yang dilapisi emas. Walaupun harganya lebih mahal, tetapi prestasinya lebih baik.
Perkara yang perlu diperhatikan
Sudut pandangan reflektor perlu dipastikan tepat. Jika sudut tersebut tidak tepat walaupun hanya beberapa milimeter, ia akan menyebabkan titik-titik panas pada permukaan wafer. Seperti yang diketahui oleh semua orang di makmal, beberapa titik panas sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut.
Keseimbangan yang perlu dipertimbangkan
Walaupun kaedah ini dapat mengatasi masalah “dinding panas”, namun ia akan menjadikan suhu pada permukaan wafer menjadi lebih tinggi. Jika anda menggunakan lampu berkuasa tinggi bersama reflektor yang tepat, masa yang diperlukan untuk proses pengeringan akan menjadi sangat cepat. Namun, berhati-hatilah agar suhu tidak melebihi had yang ditetapkan. Untuk memastikan semuanya stabil, anda memerlukan pengawal PID yang cepat, dan perlu memastikan jarak antara reflektor dengan wafer sentiasa tepat.
Jangan biarkan saja sistem tersebut beroperasi tanpa pemantauan
Goyangan mekanikal boleh berlaku. Pastikan reflektor tersebut sentiasa dipantau setiap beberapa bulan, agar ia tetap mengarahkan cahaya ke tempat yang sepatutnya.