Mendapatkan Pemetaan Suhu yang Akurat di Pabrik Wafer
Jika Anda masih mengandalkan metode pengambilan sampel secara manual di pabrik wafer Anda, berarti Anda sedang bertindak tanpa informasi yang akurat. Anda perlu mengetahui apa yang terjadi secara real-time. Inilah fungsi dari sensor inframerah berkekuatan tinggi. Sensor ini memungkinkan kita untuk mendeteksi suhu permukaan wafer tanpa perlu menyentuhnya sama sekali.
Itulah satu-satunya cara untuk melakukannya. Jika Anda mencoba menyentuh wafer saat proses pemanasan berlangsung, hal tersebut hanya akan menyebabkan kontaminasi atau kerusakan mekanis pada wafer. Tidak ada yang menginginkan hal itu.
Masalah yang Dihadapi dalam Penggunaan Sensor IR
Termokopel biasa tidak cocok digunakan untuk wafer berukuran 300 mm. Kecepatan responsnya terlalu lambat, dan sensor tersebut juga bisa mengganggu proses pengukuran.
Sistem IR bekerja dengan cara mendeteksi radiasi elektromagnetik yang dipancarkan oleh silikon. Namun, ada masalahnya: kita perlu memperhatikan faktor emisivitas. Sifat bahan berubah saat dipanaskan, sehingga hasil pengukuran pun berubah. Kita perlu mengkalibrasikan sensor secara cermat agar “derau” yang berasal dari dinding tungku tidak mengganggu hasil pengukuran. Kita ingin mendapatkan informasi yang akurat tentang kondisi wafer, bukan suhu ruangan.
Menggunakan Data yang Diperoleh untuk Kepentingan Praktis
Sensor yang hanya memberikan angka di layar tentu tidak begitu berguna. Kita perlu menghubungkan sensor tersebut langsung ke sistem PLC atau SCADA. Dengan cara ini, sistem akan bereaksi secara instan. Jika sensor mendeteksi adanya bagian wafer yang dingin, sistem akan segera menyesuaikan suhu pemanasan dalam beberapa milidetik saja. Dengan demikian, tidak perlu lagi menebak-nebak.
Realitas yang Harus Dihadapi
Ketepatan pengukuran membutuhkan biaya yang tidak sedikit. Selain itu, sensor IR membutuhkan kondisi pandangan yang jelas. Jika kaca ruang pemanasan menjadi kotor akibat uap kimia atau produk sampingan, data yang dihasilkan akan salah. Hal ini sangat menjengkelkan, tetapi memang sering terjadi.
Itulah mengapa kita perlu memiliki sistem pembersih gas yang efektif untuk lensa sensor. Pastikan optiknya tetap bersih. Sejujurnya, sensor termahal sekalipun akan menjadi tidak berguna jika digunakan melalui kaca yang kotor. Anda hanya akan mendapatkan data yang tidak akurat.