Hentikan sistem pengeringan wafer Anda dari menjadi “oven” yang berbahaya
Jika Anda menggunakan lampu IR berdaya tinggi untuk proses pengeringan wafer, Anda pasti tahu betapa sulitnya situasinya. Panas tidak akan pergi ke tempat yang diinginkan. Tanpa reflektor yang memadai, radiasi IR tersebut akan tersebar ke mana-mana. Akibatnya, bagian dalam alat tersebut akan menjadi sangat panas, sehingga bisa melukai orang yang berada di dekatnya. Elektronik yang sensitif juga akan rusak akibat fluktuasi suhu yang ekstrem. Sungguh situasi yang kacau.
Cara membuat panas sampai ke tempat yang tepat
Solusinya cukup sederhana: kita gunakan reflektor yang presisi untuk mengarahkan energi IR tersebut ke arah yang diinginkan. Bayangkan saja seperti saat kita menggunakan senter untuk menerangi suatu area tertentu, bukan membiarkan bola lampu menerangi seluruh ruangan. Dengan demikian, panas tidak akan merembes ke dalam casing mesin, melainkan langsung mengenai permukaan wafer. Dengan cara ini, suhu permukaan wafer akan mencapai tingkat yang ideal untuk proses pengeringan yang sempurna, sementara udara dan bagian logam lainnya tetap dingin.
Bahan-bahan yang digunakan
Biasanya, kita menggunakan aluminium berkualitas tinggi. Bahan ini sangat cocok untuk proses pengeringan wafer. Jika Anda memiliki anggaran yang lebih besar dan membutuhkan reflektivitas maksimal untuk gelombang IR pendek atau sedang, Anda dapat menggunakan bahan berlapis emas. Harganya lebih mahal, tetapi kinerjanya lebih baik.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
Geometri reflektor harus benar-benar tepat. Jika kelengkungan reflektor tidak sesuai, maka akan terbentuk titik-titik panas pada permukaan wafer. Seperti yang diketahui oleh siapa saja yang bekerja di laboratorium, beberapa titik panas saja sudah cukup untuk merusak seluruh batch wafer yang diproses.
Kompromi yang perlu diketahui
Meskipun metode pemanasan terarah ini dapat mengatasi masalah “dinding panas”, namun panas yang dihasilkan menjadi lebih intensif pada permukaan wafer itu sendiri. Jika Anda menggunakan lampu berdaya tinggi bersama reflektor yang efektif, waktu yang diperlukan untuk proses pengeringan akan sangat singkat. Namun, berhati-hatilah—sangat mudah untuk melebihi suhu target. Untuk menjaga stabilitas, Anda membutuhkan kontroler PID yang cepat, serta perlu memastikan jarak antara reflektor dan wafer tetap tepat. Jangan hanya menyetelnya sekali lalu melupakan hal tersebut. Getaran mekanis juga bisa terjadi; periksa penyesuaian reflektor setiap beberapa bulan agar semuanya tetap berfungsi dengan baik.