वेफरों के तापन के दौरान होने वाले द्वितीयक संदूषण को रोकना
जब उच्च मात्रा में उत्पादन किया जा रहा होता है, तो खराब हो चुकी इन्फ्रारेड लैंपें एक बड़ी समस्या बन जाती हैं। लेकिन समस्या केवल उत्पादन रुकने तक ही सीमित नहीं है।
असली समस्या तब होती है, जब क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है। ऐसी स्थिति में काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफरों पर गिर जाते हैं। यही द्वितीयक संदूषण है, और यह कुछ ही सेकंडों में पूरे उत्पादन को नष्ट कर सकता है। हम अपनी हीटिंग प्रणालियों को इस तरह डिज़ाइन करते हैं कि ऐसी स्थिति ही न आए।
उचित दूरी एवं ऊष्मा का चयन
ऊष्मा-घनत्व एवं सुरक्षा के बीच हमेशा ही एक संतुलन आवश्यक होता है। तेज़ ऊष्मा प्राप्त करने हेतु लैंप को वेफर के निकट ही रखना आवश्यक है; लेकिन यदि लैंप बहुत निकट हो, तो ऊष्मा के कारण ट्यूब वेफर को छू सकती है।
हम इस बारे में कोई अनुमान नहीं लगाते। हम वॉटेज एवं ट्यूब के व्यास के आधार पर ही सुरक्षित दूरी निर्धारित करते हैं, ताकि हमेशा ही एक सुरक्षित दूरी बनी रहे।
उच्च-वॉटेज वाली लैंपें बहुत गर्म हो जाती हैं… ऐसी स्थिति में लैंप को सही जगह पर रखने हेतु ऐसी सामग्रियों का ही उपयोग किया जाता है, जो गर्म होने पर भी अपना आकार न बदलें।
एक और सुझाव: अपनी शीतलन प्रणाली पर ध्यान दें। यदि आपकी प्रणाली ऊष्मा को संभाल नहीं पाती, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएंगे… ऐसी स्थिति में ट्यूब फटने का जोखिम बढ़ जाता है।
मलबे को रोकना
वेफरों पर मलबा न गिरे, इस हेतु हम एक भौतिक बाधा लगाते हैं। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज शील्ड का उपयोग करते हैं… ऐसे शील्ड हीटिंग तत्व एवं वेफर के बीच रखे जाते हैं। यदि लैंप खराब हो जाता है, तो शील्ड उसके टुकड़ों को रोक देता है… इससे वेफर साफ रहते हैं।
हम इस बात पर भी ध्यान देते हैं कि मशीन में कौन-सी सामग्रियाँ इस्तेमाल की जा रही हैं… हीटिंग जोन के आसपास कोई सस्ते चिपकने वाले पदार्थ या निम्न-गुणवत्ता वाले सीलेंट नहीं होते… क्योंकि ऐसी सामग्रियाँ गर्म होने पर रासायनिक पदार्थ छोड़ देती हैं… जिससे वेफरों पर अदृश्य परत बन जाती है। R7 कनेक्टरों से लेकर सहायक उपकरणों तक, हर एक भाग का चयन इसलिए ही किया जाता है, ताकि कोई रासायनिक पदार्थ उत्पादन प्रक्रिया में न घुस सके।
त्याग एवं लाभ
अब, ईमानदारी से कहें तो… सुरक्षात्मक शील्ड लगाने से इन्फ्रारेड ऊर्जा में थोड़ी कमी आ जाती है… इससे हीटिंग दक्षता में भी थोड़ी कमी आ जाती है।
इसकी भरपाई हेतु आपको ऊर्जा-स्तर बढ़ाना या उत्पादन-चक्रों में बदलाव करना होगा… लेकिन यह एक छोटी कीमत है… एक लैंप खराब होने के कारण पूरे उत्पादन को नष्ट करने की तुलना में यह बहुत ही अच्छा है।