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शॉर्ट वेव इन्फ्रारेड लैंप/सेमीकंडक्टर

शॉर्ट वेव इन्फ्रारेड लैंप/सेमीकंडक्टर

300 मिमी की लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 1°C का अंतर ही क्रिटिकल डायमेंशन के नियंत्रण को बिगाड़ने के लिए पर्याप्त है; इसके कारण...
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