
वेफर-लेवल पैकेजिंग लाइन में, लीड-फ्री सोल्डर का उपयोग करते समय कोई भी त्रुटि सहन नहीं की जा सकती। यदि तापमान कम रखा जाए, तो वेफर में खाली जगहें बन जाती हैं, एवं सोल्डरिंग प्रक्रिया ठीक से नहीं हो पाती। यदि तापमान बहुत अधिक रखा जाए, तो अशुद्धियाँ वेफर में घुस जाती हैं, एवं आवश्यक आयाम भी बदल जाते हैं। इसलिए, ऐसी व्यवस्था आवश्यक है जिससे नियमित एवं समान तापमान प्राप्त हो सके; ऐसी व्यवस्था क्लीनरूम में ही संचालित होनी चाहिए, ताकि उत्पादन प्रक्रिया बिना किसी रुकावट के चल सके।
प्रक्रिया की अखंडता हेतु…
हमने इस प्रीहीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग करके बनाया है; इसमें तेज़ प्रतिक्रिया देने वाले क्वार्ट्ज घटकों का उपयोग किया गया है, ताकि तापमान तेज़ी से बढ़ सके, लेकिन अतिरिक्त तापमान न पहुँचे। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली पूरी प्रक्रिया के दौरान तापमान को स्थिर रखती है। यह प्रीहीटर क्लास 1–100 क्लीनरूमों में ही उपयोग हेतु उपयुक्त है; इसकी सतहें ऐसी हैं कि कोई भी कण उत्पन्न न हो।
प्रक्रिया की अखंडता हेतु…
प्रक्रिया की अखंडता हेतु, यह सिस्टम फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रियाओं का समर्थन करता है; इसमें तापमान नियंत्रण बहुत ही सटीक है, एवं प्रक्रिया का विवरण भी दर्ज रहता है। यह सिस्टम 24/7 चल सकता है; इसके घटक निरंतर उपयोग हेतु उपयुक्त हैं, एवं इसकी संरचना ऐसी है कि अप्रत्याशित रुकावटें न हों।
वेफर-लेवल पैकेजिंग में इसकी उपयोगिता…
लीड-फ्री सोल्डरिंग हेतु सटीक तापमान आवश्यक है; यह प्रीहीटर तेज़ गति से तापमान बढ़ाकर प्रक्रिया को तेज़ बनाता है, एवं ±0.1°C की एकरूपता से वेफर के किनारों एवं केंद्र में तापमान का अंतर कम हो जाता है। कोई भी कण उत्पन्न न होने से लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में दोष नहीं होता, एवं नियमित तापमान नियंत्रण से आवश्यक आयाम स्थिर रहते हैं।
ऊर्जा उपयोग में कमी…
चूँकि यह सिस्टम केवल आवश्यक समय पर ही गर्म होता है, इसलिए ऊर्जा उपयोग में कमी आती है; इससे संचालन लागत कम हो जाती है, जबकि उत्पादन दर बनी रहती है।
क्या योजना बनानी आवश्यक है?
यह प्रीहीटर मानक हैंडलरों एवं पैकेजिंग उपकरणों के साथ काम कर सकता है; लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान मैकेनिकल इंटरफेस एवं गैस कनेक्शनों को ठीक से व्यवस्थित करना आवश्यक है। सोल्डर पेस्ट एवं अन्य सामग्रियों हेतु तापमान एवं समय सेट करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। यह सिस्टम लीड-फ्री है, लेकिन प्रत्येक सामग्री हेतु उपयुक्त तापमान एवं समय निर्धारित करना आवश्यक है।