Arrêtez que votre système de séchage des wafers ne se transforme pas en four
Si vous utilisez des lampes infrarouges à haute puissance pour le séchage des wafers, vous connaissez bien les difficultés associées. La chaleur ne se dirige pas toujours là où on le souhaite. Sans un réflecteur adéquat, les rayons infrarouges se dispersent partout. Résultat : l’intérieur de votre équipement cher agit comme un énorme dissipateur de chaleur. Les parois du boîtier deviennent tellement chaudes qu’elles peuvent brûler quelqu’un. De plus, vos composants électroniques sensibles commencent à fonctionner mal à cause des fluctuations thermiques. C’est un vrai problème.
Faire en sorte que la chaleur atteigne bien l’endroit voulu
La solution est assez simple : on utilise des réflecteurs précis pour diriger l’énergie infrarouge vers une direction précise. Imaginez plutôt que vous utilisez une lampe de poche plutôt que de laisser simplement une ampoule éclairer toute la pièce. Ainsi, au lieu que la chaleur s’échappe dans le boîtier de l’appareil, le réflecteur dirige les photons directement sur le wafer. Vous obtenez ainsi la température nécessaire pour un séchage parfait, tandis que l’air et les cadres métalliques restent froids.
Les matériaux utilisés
Généralement, on utilise de l’aluminium de haute pureté. C’est le matériau idéal pour la plupart des systèmes de séchage. Si vous avez un budget plus important et que vous avez besoin d’une réflexivité maximale pour les ondes infrarouges à courte ou moyenne longueur d’onde, vous pouvez utiliser des substrats revêtus d’or. C’est plus cher, mais cela donne de meilleurs résultats.
Un point important à garder à l’esprit
La géométrie du réflecteur doit être parfaite. Même une légère erreur de quelques millimètres peut entraîner des points chauds sur le wafer. Comme chacun sait en laboratoire, quelques points chauds suffisent pour gâcher tout un lot de wafers.
Les compromis à connaître
Le chauffage dirigé permet de résoudre le problème des parois trop chaudes, mais il rend également la chaleur beaucoup plus intense sur le wafer lui-même. Si vous combinez une lampe à haute puissance avec un réflecteur efficace, le temps de chauffage sera extrêmement rapide. Mais soyez prudent : il est facile de dépasser la température souhaitée. Pour maintenir la stabilité, il vous faudra un régulateur PID performant, ainsi que des mesures rigoureuses concernant la distance entre le réflecteur et le wafer. De plus, ne vous contentez pas de régler l’appareil une fois pour toutes. Des vibrations mécaniques peuvent survenir. Vérifiez régulièrement l’alignement du réflecteur, tous les quelques mois, afin de vous assurer que tout est bien orienté.