Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizgeräte Ihre Wafer zerstören!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Ein winziger Staubpartikel oder etwas Gas, das von einem Heizelement ausgestoßen wird, reicht bereits aus, um Ihre Wafer unbrauchbar zu machen. Es handelt sich dabei um ein Spiel mit hohen Risiken – der kleinste Fehler führt zu einem totalen Misserfolg.
Deshalb haben wir auf herkömmliche Heizgeräte verzichtet und stattdessen hochreinen synthetischen Quarz für unsere IR-Lampen verwendet.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden verschmolzene Siliziumdioxid-Strukturen mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Wenn Sie schon einmal billigen Quarz verwendet haben, wissen Sie, dass dieser nach einigen Betriebszyklen trüb wird. Unser Quarz bleibt hingegen klar und chemisch inaktiv – er reagiert also nicht mit den Stoffen, die in Ihrer Produktionsumgebung vorhanden sind. So erhalten Sie die benötigte Wärme, ohne sich Sorgen darüber machen zu müssen, dass metallische Ionen in Ihren Prozess gelangen.
Nun zu der Wärme selbst.
Um die erforderliche Trocknungsgeschwindigkeit zu erreichen, packen wir eine große Menge an Leistung in einen kleinen Raum. Dadurch entsteht intensive, kurzwellige IR-Strahlung. Doch hier kommt das Problem: Solche hohen Leistungen belasten die Dichtungen der Lampen stark.
Wir haben dieses Problem durch luftdichte Dichtungen gelöst. Keine Halogengase dringen mehr in den Reinraum ein. Allerdings sollten Sie darauf achten, dass bei hohem Betriebsaufkommen keine Überhitzung entsteht – sonst kann das Filament zerstört werden.
Die Installation ist einfach.
Wir haben diese Geräte so gestaltet, dass sie problemlos eingebaut werden können. Es gibt keine Klebstoffe oder organischen Beschichtungen – diese geben bei Erwärmung Gase ab. Alles ist rein mechanisch gestaltet.
Ein letzter Tipp: Achten Sie auf Ihre Stromversorgung. In Produktionsumgebungen kann es laut werden – plötzliche Spannungsspitzen können das hochreine Filament zerstören. Halten Sie die Spannung stabil, und alles funktioniert einwandfrei.
Letztendlich geht es darum, die Lösungsmittel schnell verdunsten zu lassen, ohne dass auch nur ein einziges Staubkorn in die Umgebung gelangt. Das bedeutet, die richtigen Materialien zu verwenden und strenge Toleranzen einzuhalten. Einfach gesagt.