保持晶圆的温度：为何我们选择使用红外线加热技术来为洁净室中的运输车提供热量
如果您曾在半导体工厂工作过，那么您一定了解其中的挑战。将晶圆或零部件从一处移到另一处时，必须不断努力防止它们冷却下来。这确实是个麻烦的问题。
为了解决这个问题，我们开始在运输车上安装短波红外线加热灯。其原理很简单：普通加热器只是加热周围的空气，而红外线则能直接将能量传递到被加热的物体上。虽然这只是物理原理上的一个小变化，但它却能显著降低能耗。
减少能源浪费
普通的电阻式加热器其实就像空间加热器一样，为了给单个部件加热，它们会消耗大量能源来加热整个房间。我们当然不想这样。通过使用红外线加热器，我们可以只对需要加热的部件进行加热，从而节省能源。这样一来，每次循环的能耗就会下降。此外，这些加热灯的升温速度很快，无需等待一小时才能达到所需温度。这样一来，就能减轻工厂电网的负担。不过需要注意的是，由于红外线的加热强度很高，因此在使用PID控制器时必须格外小心，避免出现过热情况。
保持环境清洁
在工厂里，哪怕是一粒灰尘都可能带来灾难性的后果。因此，我们使用石英玻璃制成的灯罩，因为这种材料不会释放气体或产生颗粒物。为了确保不会浪费热量，我们还用不锈钢反射器将光线集中到被加热的部件上，避免热量散失到洁净室中。在电气方面，我们则使用耐用的连接器。因为这些运输车需要频繁移动，所以不能让电线松动，否则可能会导致故障或损坏灯丝。
环保优势
我们经常谈论“绿色工厂”的概念，而这里正是实现这一目标的典范。当系统仅在需要加热时才耗电时，其碳排放自然会减少。这是一种让制造过程中的运输环节更加环保的方法，显然非常合理。