别再浪费电能了：为何镀金反射器如此重要
在半导体生产过程中，电能的流失无疑是一种糟糕的设计缺陷。当为晶圆加热时，我们希望每一瓦特的能量都能传递到晶圆上。而大多数普通反射器会让大量能量泄漏到设备外壳中，这就相当于白白浪费能源。正因如此，我们才会使用镀金反射器。
为何选择黄金？
这主要是因为黄金能够有效反射红外线。而大多数材料只能吸收或散射红外线，但黄金则能将其反射回去。我们这样做并非为了加热空气，而是为了引导光子。通过将几乎所有的短波辐射反射回目标区域，就能形成一个集中且均匀的热区。最棒的是，这样就不需要提高功率就能达到所需的温度。
确保正确的形状
其实，镀金只是其中一半的工作。反射器的形状也必须精确无误。如果其弯曲度有哪怕一小部分的误差，就有可能出现局部过热的情况。而我们知道，这种情况会导致晶圆变形，还会影响化学气相沉积过程的顺利进行。因此，我们必须确保焦点能准确落在晶圆平面上，这样才能让整个晶圆的受热情况保持均匀。
需要注意的问题
不过，使用镀金反射器也有其缺点。首先，镀金表面非常脆弱，绝对不能用磨砂垫来擦拭，否则会破坏其反射性能。此外，操作时还必须戴上手套，因为皮肤上的油脂在高温下会渗入涂层中，留下无法去除的黑色痕迹。另外，如果需要高功率来快速升温，还要确保电源能够承受相应的电流冲击。由于镀金反射器会在晶圆上产生极高的热量，因此PID控制器可能会出现波动。这时就需要重新校准控制器，以避免温度控制失灵。