Làm thế nào để đo nhiệt độ một cách chính xác trong nhà máy sản xuất wafer
Nếu bạn vẫn phải dựa vào việc lấy mẫu thủ công, thì bạn đang hoạt động một cách mù quáng. Bạn cần phải biết được tình hình thực tế xảy ra ngay lúc đó. Đó chính là lý do tại sao các cảm biến hồng ngoại có độ chính xác cao lại rất cần thiết. Chúng giúp chúng ta đo được nhiệt độ bề mặt của wafer mà không cần chạm vào wafer đó.
Đây là cách duy nhất để làm điều này. Nếu bạn cố gắng chạm vào wafer trong quá trình nung nóng, bạn sẽ gây ra sự ô nhiễm hoặc áp lực cơ học lên wafer. Không ai muốn điều đó xảy ra cả.
Những khó khăn liên quan đến vật lý
Các cặp nhiệt điện thông thường không thể được sử dụng để đo nhiệt độ của wafer kích thước 300mm. Chúng hoạt động quá chậm và còn gây cản trở trong quá trình đo.
Hệ thống hồng ngoại của chúng tôi hoạt động bằng cách thu nhận các bức xạ điện từ phát ra từ silicon. Nhưng có một vấn đề: bạn cần phải xử lý yếu tố “độ phát xạ”. Khi vật liệu nóng lên, giá trị đo cũng thay đổi theo. Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để hiệu chuẩn các cảm biến, nhằm loại bỏ những “nhiễu” phát ra từ thành lò nung. Chúng tôi muốn biết tình trạng thực tế của wafer, chứ không phải nhiệt độ của căn phòng.
Làm sao để dữ liệu có ích cho bạn
Một cảm biến chỉ đơn giản hiển thị con số trên màn hình thì chẳng có ích gì cả. Chúng tôi kết nối các cảm biến này trực tiếp vào hệ thống PLC hoặc SCADA. Điều này tạo ra một vòng lặp phản ứng tức thì. Nếu cảm biến phát hiện ra vùng lạnh ở mép wafer, hệ thống sẽ điều chỉnh các bộ phận gia nhiệt trong vài毫giây. Như vậy, bạn sẽ không còn phải đoán mò nữa.
Thực tế thì sao?
Độ chính xác không phải là thứ miễn phí. Nó đòi hỏi không gian lớn và còn có nhiều hạn chế. Các cảm biến hồng ngoại cần có tầm nhìn rõ ràng. Nếu cửa sổ của buồng thí nghiệm bị bao phủ bởi hơi hóa chất hoặc các chất thải, dữ liệu đo sẽ bị sai lệch. Điều này thật phiền phức, nhưng nó vẫn xảy ra.
Đó là lý do tại sao bạn cần một hệ thống làm sạch khí hiệu quả để bảo vệ các cảm biến. Hãy giữ cho các bộ phận quang học luôn sạch sẽ. Bởi vì, thành thật mà nói: dù cảm biến có đắt đến đâu, nếu nó phải hoạt động qua một cửa sổ bẩn, thì nó vẫn vô dụng. Bạn sẽ chỉ nhận được dữ liệu vô nghĩa mà thôi.