Ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn thứ cấp trong quá trình làm nóng wafer
Khi sản xuất với công suất cao, việc bóng đèn hồng ngoại bị hỏng thực sự là một vấn đề nan giải. Nhưng vấn đề không chỉ dừng lại ở việc máy phải ngừng hoạt động thôi. Điều tồi tệ nhất xảy ra khi ống thủy tinh bị vỡ; lúc đó, mảnh thủy tinh và các chất hóa học sẽ rơi xuống các wafer, gây ra tình trạng nhiễm bẩn thứ cấp. Điều này có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm chỉ trong vài giây. Chúng tôi thiết kế hệ thống làm nóng sao cho điều này không xảy ra.
Tìm ra điểm cân bằng giữa cường độ nhiệt và tính an toàn
Luôn có sự cân bằng phức tạp giữa cường độ nhiệt và tính an toàn. Bạn muốn bóng đèn được đặt gần wafer để tạo ra nhiệt độ cao, nhưng nếu bóng đèn quá gần, hiện tượng giãn nở nhiệt có thể khiến ống thủy tinh chạm vào wafer. Chúng tôi không dựa vào cảm giác mà tính toán khoảng cách an toàn dựa trên công suất của bóng đèn và đường kính ống thủy tinh, nhằm đảm bảo luôn có một khoảng cách an toàn.
Ngoài ra, các linh kiện cũng rất quan trọng. Các bóng đèn có công suất cao sẽ sinh ra nhiệt lượng lớn; nếu các khung đỡ không đủ chắc chắn, chúng có thể bị biến dạng. Chúng tôi sử dụng các vật liệu ít giãn nở khi nóng lên, nhờ đó bóng đèn vẫn giữ được vị trí ổn định.
Một mẹo nhỏ: Hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống không thể xử lý được nhiệt độ cao, các bóng đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng, và nguy cơ ống thủy tinh bị vỡ cũng tăng lên đáng kể.
Ngăn chặn các chất bẩn tiếp xúc với wafer
Để ngăn chặn các mảnh vụn tiếp xúc với wafer, chúng tôi sử dụng lớp bảo vệ bằng thủy tinh có độ tinh khiết cao. Lớp bảo vệ này đặt ngay giữa bóng đèn và wafer. Khi bóng đèn bị hỏng, lớp bảo vệ sẽ giữ lại các mảnh vụn, giúp wafer luôn sạch sẽ. Rất đơn giản phải không?
Chúng tôi cũng rất chú trọng đến các vật liệu được sử dụng trong máy móc. Bạn sẽ không tìm thấy các loại keo giá rẻ hay chất kết dính kém chất lượng gần khu vực làm nóng. Tại sao ư? Bởi vì những vật liệu này sẽ tỏa khí khi nóng lên, tạo ra lớp chất cặn mỏng trên wafer. Từ các konektor R7 cho đến các bộ phận hỗ trợ, mọi thứ đều được lựa chọn kỹ lưỡng để đảm bảo không có chất hóa học nào lọt vào quá trình sản xuất.
Sự hy sinh cần chấp nhận
Điều cần lưu ý là việc sử dụng lớp bảo vệ sẽ làm giảm một phần năng lượng hồng ngoại. Hiệu suất làm nóng sẽ giảm đôi chút. Để bù đắp, bạn có thể cần tăng công suất hoặc điều chỉnh thời gian hoạt động của máy. Nhưng đó là cái giá nhỏ để đổi lấy việc tránh được việc phải hủy toàn bộ lô sản phẩm vì một chiếc bóng đèn bị hỏng.