Wafer kurutma sisteminizin fırına dönüşmesini engelleyin
Eğer waferleri kurutmak için yüksek güçlü IR lambaları kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Isı, istediğiniz yere gitmez. Sağlam bir yansıtıcı olmadan, bu IR radyasyonu her yöne saçılır. Böylece pahalı cihazınızın iç kısmı adeta devasa bir ısı kaynağı haline gelir. Cihazın duvarları o kadar ısınır ki insanları yakabilir; hassas elektronik parçalar da termal etkiler yüzünden bozulmaya başlar. Bu durum oldukça karmaşıktır.
Isının doğru yere gitmesini sağlama
Çözüm oldukça basit: İnterferometrik yansıtıcılar kullanarak bu IR enerjisini belirli bir yöne yönlendiririz. Bunu, sadece ampülün tüm odayı aydınlatmasını engelleyip ışığı odaklamak gibi düşünebilirsiniz. Isının cihazın içine sızmasını engelleyerek, yansıtıcılar o fotonları doğrudan waferin üzerine yönlendirir. Böylece mükemmel bir kuruma işlemi için gerekli olan yüzey sıcaklığı elde edilir; hava ve metal yapılar ise soğuk kalır.
Kullanılan malzemeler
Çoğunlukla yüksek saflıkta alüminyum kullanılır. Bu malzeme, çoğu kurutma sistemleri için idealdir ve işi başarıyla yerine getirir. Eğer daha yüksek bütçeniz varsa ve kısa dalga veya orta dalga IR ışınları için maksimum yansıtma kapasitesine ihtiyacınız varsa, altın kaplamalı malzemeler kullanılabilir. Bu malzemeler daha pahalıdır, ancak daha iyi performans gösterir. Dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise geometrinin tam olarak doğru olmasıdır. Eğer eğrilik birkaç milimetre bile farklıysa, wafer üzerinde sıcak noktalar oluşur. Laboratuvarda çalışan herkesin bildiği gibi, birkaç sıcak nokta tüm ürün partisini bozabilir.
Bilmeniz gereken avantajlar ve dezavantajlar
Yönlü ısıtma, “sıcak duvar” sorununu çözer; ancak wafer üzerindeki ısının şiddetini artırır. Yüksek güçlü bir lambayla birlikte kullanıldığında, ısıtma süresi inanılmaz derecede hızlı olur. Ancak dikkatli olun; hedef sıcaklığın çok üzerine çıkılabilir. Her şeyin stabil kalması için hızlı bir PID kontrol cihazına ihtiyaç vardır ve aralıkların doğru ayarlanması şarttır. Ayrıca, “ayarlayıp unutmak” doğru değildir. Mekanik titreşimler meydana gelebilir. Her birkaç ayda bir yansıtıcının hizasını kontrol ederek her şeyin hala doğru yönde olduğundan emin olun.