300 mm’lik bir hat üzerinde, fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile kritik boyutların kontrolünü bozabilir ve böylece verimi olumsuz etkileyebilir. Bu sorunu ortadan kaldırmak için kendi kısa dalga boylu kızılötesi (SWIR) lamba platformumuzu geliştirdik. Burada önemli olan sadece ısıtma değil, aynı zamanda termal stabilitedir.
İşin iç yüzünde önemli olan şey şudur: SWIR enerjisi hızla ve doğrudan fotoresist tabakasına yayılır; böylece substratın termal inertiasıyla mücadele etmek gerekmez. Lambalarımız, pişirme yüzeyi boyunca ±0,1°C civarında bir düzenlilik sağlar ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır. Tepki süresi 50 ms’nin altındadır; bu sayede termal profil, gereken seviyede kalır.
Temiz oda uyumluluğu önceden entegre edilmiştir; ekstra bir işlem gerektirmez. 1–100 sınıfına uygun malzemeler kullanıyoruz, parçacık üretimini sıfıra indiriyoruz ve egzoz havasının maruz kalma bölgesinden uzak tutulmasını sağlıyoruz. Kuvars kaplamalar ve ışığı yönlendiren yapılar sayesinde lamba, pişirme sırasında herhangi bir fotokimyasal gürültüye neden olmaz.
Litografide, yumuşak pişirme ve sert pişirme yöntemleri, çözücü miktarını belirler ve fotoresist profilini sabitler. Sıkı sıcaklık kontrolü, daha düşük hat genişliği ve daha iyi üst üste binme oranları sağlar. SWIR’in seçici emilimi, profil kontrolünü korurken pişirme sürelerini kısaltır; böylece ekstra ısı üretilmez ve verim artar.
Sonuç olarak, istikrarlı kritik boyutlar elde edilir, atık miktarı azalır ve lottan lota tutarlı bir dozaj kontrolü sağlanır. Enerji tüketimi de azalır; çünkü enerji gerektiği yerde, yani filme gider, ısıtma ekipmanlarına değil.
Birkaç pratik not: SWIR lambaları için hassas optik hizalamalar ve temiz, odaklanmış bir ısı dağılımı gereklidir. Yansıtıcı ve filtre stratejilerini yeniden değerlendirmediğiniz sürece bunları geniş spektrumlu kaynaklarla bir arada kullanmayın. Montaj toleransları oldukça dar olduğundan, eğer engelleyiciler yetersizse, bitişik bölgeler arasında termal etkileşimler meydana gelebilir.
Sıcak noktaları tespit etmek ve pirometreyi fotoresist tabakasının gerçek emisyon değerlerine göre kalibre etmek için kısa bir test süreci planlayın. Bunu yaptıktan sonra süreç sabit kalır.