난방용 램프가 제품의 품질을 해치는 것을 막으세요
클래스 100급 청정실에서 작업해보신 적이 있다면, 모든 것이 완벽해야 한다는 것을 잘 알고 계실 것입니다. 아주 작은 먼지 하나나 화학물질 조각 하나만 있어도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다.
문제는, 사람들이 사용하는 난방용 램프들이 오히려 문제를 일으킨다는 점입니다. 램프가 가열될 때, 접착제나 금속 찌꺼기 같은 것들이 누출됩니다. 이는 정말 큰 문제입니다. 우리는 고순도의 인공 석영을 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 재료가 중요한가요?
우리가 사용하는 것은 융합된 규소입니다. 이 물질은 매우 순수하기 때문에 가열될 때도 연기나 휘발성 유기화합물을 방출하지 않습니다. 일반적인 유리나 저품질의 석영은 이에 비해 못합니다. 바이오센서 분야에서는 단 1마이크론의 먼지라도 회로를 손상시키거나 시약을 망칠 수 있습니다. 그런 위험은 감수할 수 없습니다.
또한, 우리는 단파 적외선을 사용합니다. 공기를 가열하는 대신 에너지가 직접 기판으로 전달됩니다. 이렇게 하면 더 빠르고, 또한 대류 현상으로 인해 기계 내부의 먼지가 발생하지도 않습니다.
장비에 설치하는 방법
이 램프들은 그대로 기존의 정밀 장비에 설치될 수 있습니다. 밀봉도 매우 우수해서, 할로겐 가스가 청정실로 유출될 걱정도 없습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 고순도 석영은 평소에 사용하던 도핑 처리된 유리보다 다소 약할 수 있다는 것입니다. 만약 고정 브래킷이 너무 세게 조여지거나 진동 방지 장치가 제대로 작동하지 않으면, 램프가 깨질 수 있습니다. 따라서 램프가 열에 의해 팽창할 때 충분한 공간이 주어져야 합니다.
일상적인 작업에 미치는 영향
접착제를 경화시키거나 포토레지스트를 건조시키거나 센서 층을 가열하는 경우, 모든 경우에 공통된 목표는 오염을 원천적으로 막는 것입니다. 램프에서 입자가 나오지 않으면, 후처리에 드는 시간도 훨씬 줄어듭니다. 그 결과, 더 많은 부품을 생산할 수 있고, 결함도 훨씬 줄어듭니다. 전체 공정이 훨씬 원활해집니다.