ヒーターランプが生産性を損なうのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさはご存知でしょう。すべてが完璧でなければなりません。ほんのわずかなほこりや化学物質の混入だけで、ワーク全体が無価値になってしまいます。
問題は、多くの人々が使用しているヒーターランプこそが原因だということです。加熱されると、接着剤や金属の粉が漏れ出してしまいます。これは本当に厄介な問題です。私たちは、高純度の合成石英を使用することでこの問題を解決しました。
なぜ材料が重要なのか
実は、私たちが使用しているのは溶融シリカです。これは非常に純度が高く、加熱時に有害な有機化合物を放出しないのです。一般的なガラスや安価な石英では、これには敵いません。バイオセンサーの世界では、わずか1マイクロメートルの汚れでも回路を壊したり、試薬を台無しにしたりする可能性があります。それは許されません。
また、私たちは短波長の赤外線を利用しています。空気を加熱するのではなく、エネルギーを直接基板に送り込むのです。これにより、処理時間が短縮されます。さらに、大規模な対流が起きないため、装置の底からほこりが舞い上がることもありません。
装置への取り付け方法
これらは、既存の精密装置にそのまま取り付けられるように設計されています。シールも完全に密閉されているため、ハロゲンガスがクリーンルーム内に漏れ出る心配はありません。
ただし、高純度の石英は、通常使われているドープガラスよりも少しもろいので注意が必要です。取り付けブラケットが過度に締め付けられていたり、振動吸収機能が緩んでいると、チューブが割れてしまう可能性があります。熱によって素材が膨張する際に、適切な余裕を与えてあげることが大切です。
日常業務への影響
接着剤を硬化させたり、フォトレジストを乾燥させたり、センサーレイヤーをアニーリングする際にも、目的は同じです。つまり、汚染を元から防ぐことです。
ヒーターランプから粒子が出ない限り、後処理に費やす時間も大幅に削減できます。その結果、より多くの部品を製造でき、故障も大幅に減少します。これにより、全体的な工程がずっとスムーズに進みます。