OLED製造用乾燥ランプ

フォトレジストのソフトベイク時に温度が5％も変動すると、重要な寸法が急速に変わってしまいます。OLEDスタックでもすぐにその影響が現れます。そのため、乾燥装置は所定の温度を維持し続ける必要があります。私たちは、このような状況に対応するためにOLED製造用の乾燥ランプを開発しました。 内部で何が重要...