جلوگیری از تبدیل سیستم خشککردن ویفرها به یک فر
اگر از لامپهای مادون قرمز با توان بالا برای خشککردن ویفرها استفاده میکنید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. گرما فقط به جایی که میخواهیم نمیرود؛ بدون وجود منعکسکننده مناسب، این تشعشعات مادون قرمز در همه جا پراکنده میشوند.
در نتیجه، داخل دستگاه گرم میشود و ممکن است باعث سوختن افراد شود؛ همچنین، قطعات الکترونیکی حساس دستگاه نیز به دلیل اختلافات دمایی دچار مشکل میشوند. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است.
راهحل: هدایت گرما به جای مناسب آن
راهحل بسیار ساده است: از منعکسکنندههای دقیق برای هدایت انرژی مادون قرمز به سمت ویفر استفاده میکنیم. در واقع، این کار مانند تمرکز نور یک چراغ قوه است؛ به جای اینکه نور کل اتاق را روشن کند، منعکسکنندهها فوتونها را مستقیماً روی ویفر هدایت میکنند. در نتیجه، دمای سطح ویفر به حد مطلوب میرسد، اما هوا و قابهای فلزی دستگاه همچنان خنک باقی میمانند.
مواد مورد استفاده
در اکثر موارد، از آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میشود؛ این ماده برای اکثر دستگاههای خشککننده مناسب است. اگر بودجه بیشتری دارید و نیاز به بازتابندگی بالاتر برای امواج مادون قرمز کوتاه یا متوسط دارید، میتوانید از سطوح پوشیده شده با طلا استفاده کنید؛ البته این روش گرانتر است، اما عملکرد بهتری دارد.
نکات مهم:
زاویه منعکسکننده باید دقیق باشد؛ اگر انحنای آن حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرم روی ویفر ایجاد خواهد شد. همانطور که هر کسی در آزمایشگاه میداند، چند نقطه گرم میتواند کل محموله ویفرها را خراب کند.
معایب این روش:
اگرچه این روش مشکل «دیوارهای گرم» را حل میکند، اما گرما را روی خود ویفر بسیار شدیدتر میکند. اگر از لامپهای با توان بالا همراه با منعکسکنندههای دقیق استفاده کنید، زمان لازم برای رسیدن به دمای مطلوب بسیار کوتاه خواهد بود؛ اما مراقب باشید؛ ممکن است دما بیش از حد بالا برود. برای حفظ استقرار دما، به یک کنترلکنندر PID سریع نیاز دارید؛ همچنین باید فاصله منعکسکننده از ویفر را دقیقاً کنترل کنید.
همچنین، فقط نباید آن را تنظیم کرده و فراموش کنید؛ لرزشهای مکانیکی میتواند باعث اختلال در عملکرد دستگاه شود. هر چند ماه یکبار، موقعیت منعکسکننده را بررسی کنید تا مطمئن شوید که همه چیز در جای درست خود قرار دارد.