در خطهای بستهبندی سطح ویفر، استفاده از جوشکاری بدون سرب نیازمند دقت بالایی است؛ زیرا هرگونه تصمیم عجولانه میتواند منجر به مشکلاتی شود. اگر دما کم باشد، حفرههایی در سطح ویفر ایجاد میشود و اتصالات ضعیف خواهند بود؛ اما اگر دما بیش از حد باشد، مواد اضافی به داخل ویفر نفوذ کرده و ابعاد کلیدی آن تغییر میکند. آنچه لازم است، گرمایش یکنواخت و قابل تکرار است؛ گرمایشی که در محیطی تمیز انجام شود تا فرآیند بستهبندی به خوبی پیش برود.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما این دستگاه گرمکن را با استفاده از امواج مادونقرمز کوتاه ساختهایم؛ از عناصر کوارتزی با پاسخگویی سریع برای ایجاد دمای مورد نیاز استفاده شده است. یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین کنترل چرخهای، دمای مورد نیاز را در طول کل فرآیند حفظ میکند. منطقه گرم، برای استفاده در محیطهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است؛ سطح این دستگاه نیز به گونهای است که تولید ذرات را به صفر برساند.
برای حفظ کیفیت فرآیند، این سیستم از برنامههای گرمایشی مختلف برای فوتورزیست استفاده میکند؛ همچنین کنترل دقیق دما و قابلیت ردیابی کامل فرآیند نیز وجود دارد. این سیستم قادر به کار ۲۴/۷ است؛ قطعات آن نیز برای کار مداوم مناسب هستند و طراحی آن باعث کاهش زمان توقف غیرمنتظره میشود.
چرا این دستگاه در فرآیند بستهبندی سطح ویفر مؤثر است؟
اتصالات بدون سرب نیازمند گرمایش دقیقی هستند تا بتوانند بدون ایجاد فشار، اتصالات لازم را ایجاد کنند. این دستگاه با ایجاد دمای مورد نیاز به سرعت، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ همچنین یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، باعث کاهش مواد باکیفیت پایین میشود. عدم تولید ذرات نیز باعث حفظ کیفیت در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست میشود؛ همچنین الگوهای گرمایشی قابل تکرار، ابعاد کلیدی ویفر را استابیل نگه میدارند.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا سیستم تنها زمانی گرما تولید میکند که لازم باشد؛ همچنین دما به خوبی کنترل میشود، در نتیجه هزینههای عملیاتی کاهش مییابد بدون اینکه سرعت فرآیند کاهش یابد.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیریم؟
این دستگاه گرمکن با ابزارهای استاندارد بستهبندی سازگار است؛ اما رابطهای مکانیکی و اتصالات گازی باید در هنگام نصب به درستی تنظیم شوند. انتظار داشته باشید که زمان کوتاهی برای تنظیم الگوهای گرمایشی لازم باشد. این سیستم مطابق با استانداردهای بدون سرب است؛ اما همچنان لازم است دماها و زمانهای کاری برای هر ماده به طور جداگانه تنظیم شوند.