如果你仍然使用热空气循环的方式来对生物传感器进行烘干处理，那你肯定会觉得效率很低，过程十分繁琐。
原因在于：对流式的加热方式速度很慢。在基板开始感受到温度之前，你必须先加热腔室内的每一立方英寸的空气。这不仅浪费能源，更会浪费时间。
解决这个问题的方法是使用红外线。
红外线灯则完全不同——它们直接将辐射能传递到材料上，几乎可以实现“即时加热”。在半导体加工领域，这一技术意义重大：它可以将加热时间从几分钟缩短到几秒钟。当需要处理大量产品时，哪怕每批产品节省30秒的时间，也能大大提升生产效率。
为了在生物传感器上应用这项技术，我们采用了短波红外线光源。这类光源能够发出特定波长的光，而聚合物和传感器中的化学物质正好能够吸收这种光线。这样一来，热量就能直接作用于需要加热的部位，而不会让整个设备都变成烤箱。
不过，这并不是万能的解决方案。因为红外线是沿直线传播的，所以可能会出现“边缘效应”：如果灯具的摆放位置不当，晶圆的边缘可能会被烧伤，而中心部分仍然处于低温状态。因此，你不能简单地插上电源就不管了，还需要调整好距离，并使用PID控制器来确保不会造成损坏。
总而言之，如果想要实现高精度的生产流程，红外线技术无疑是最佳选择。它能够减少生产设备的体积，同时降低单位产品的处理时间。只要正确设置电路和加热区域，处理时间就能立刻得到显著改善。