Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao các bộ phản xạ được phủ vàng lại quan trọng đến vậy?
Trong công nghệ bán dẫn, việc mất đi năng lượng là dấu hiệu của thiết kế kém. Khi sử dụng thiết bị sưởi ấm wafer, chúng ta muốn toàn bộ năng lượng được truyền vào wafer. Hầu hết các bộ phản xạ thông thường để cho quá nhiều năng lượng thoát ra ngoài, điều này khiến thiết bị bị nóng lên một cách không cần thiết. Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng lớp phủ vàng.
Tại sao lại chọn vàng?
Điều này liên quan đến khả năng của vàng trong việc xử lý ánh sáng hồng ngoại. Trong khi hầu hết các vật liệu chỉ hấp thụ hoặc tán xạ ánh sáng hồng ngoại, thì vàng lại phản chiếu nó trở lại. Chúng ta không chỉ làm nóng không khí, mà còn điều hướng các photon. Bằng cách phản chiếu gần như toàn bộ bức xạ sóng ngắn trở lại vùng mục tiêu, chúng ta có thể tạo ra một vùng nhiệt độ đồng đều. Điều tuyệt vời nhất là chúng ta không cần phải tăng công suất quá cao để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Điều chỉnh hình dạng của bộ phản xạ
Vàng chỉ là một phần trong quá trình này. Hình dạng của bộ phản xạ cũng rất quan trọng. Nếu độ cong của bộ phản xạ sai lệch dù chỉ vài milimét, thì sẽ xuất hiện những vùng nóng. Chúng ta đều biết điều này sẽ dẫn đến việc wafer bị biến dạng và quy trình sản xuất bị gián đoạn. Chúng ta phải dành nhiều thời gian để đảm bảo rằng điểm tập trung nhiệt độ nằm chính xác trên bề mặt wafer. Đây là cách duy nhất để tạo ra một bản đồ nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Những lưu ý khi sử dụng bộ phản xạ phủ vàng
Có một số điều cần lưu ý. Lớp phủ vàng rất nhạy cảm. Xin đừng dùng các miếng chà cứng để chà xát bề mặt này; điều này sẽ làm xước bề mặt và làm giảm khả năng phản chiếu ánh sáng của vàng. Ngoài ra, hãy đeo găng tay khi làm việc. Dầu trên da có thể thấm vào lớp phủ vàng ở nhiệt độ cao, tạo ra những vết bẩn khó loại bỏ. Cuối cùng, hãy kiểm tra kỹ hệ thống dây dẫn. Nếu bạn sử dụng công suất cao để đạt được tốc độ nhanh, hãy chắc chắn rằng nguồn điện có thể chịu đựng được dòng điện đột ngột tăng lên. Vì bộ phản xạ phủ vàng tạo ra mật độ nhiệt cao trên wafer, nên các bộ điều khiển PID có thể hoạt động không ổn định. Bạn có thể cần điều chỉnh lại chúng để tránh tình trạng nhiệt độ vượt quá mức mong muốn.