Trên dây chuyền đóng gói ở cấp độ wafer, việc sử dụng keo hàn không chứa chì đòi hỏi phải có quy trình nung ổn định và chính xác. Nếu nhiệt độ nung quá thấp, sẽ xuất hiện các lỗ rỗng và khả năng kết dính kém. Ngược lại, nếu nhiệt độ nung quá cao, các chất phụ gia sẽ di chuyển, làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer. Điều cần thiết là có quy trình nung đồng đều và lặp đi lặp lại, trong môi trường sạch, để đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra suôn sẻ.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi thiết kế bộ sưởi này dựa trên công nghệ tia hồng ngoại ngắn波, với các linh kiện thạch anh có khả năng phản ứng nhanh, giúp tăng nhiệt độ một cách nhanh chóng mà không gây ra sai số. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ, giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình xử lý. Khu vực nung được thiết kế để sử dụng trong môi trường sạch cấp độ 1–100; bề mặt và các bộ phận kín giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi.
Để đảm bảo tính ổn định của quy trình, hệ thống hỗ trợ các chương trình nung khác nhau – từ nung nhẹ đến nung mạnh – với việc kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ và khả năng theo dõi chi tiết quy trình. Hệ thống này có thể hoạt động 24/7, với các linh kiện được thiết kế để hoạt động liên tục, giúp giảm thời gian ngừng máy do sự cố.
Tại sao hệ thống này phù hợp cho việc đóng gói ở cấp độ wafer Các mối nối không chứa chì cần được nung với nhiệt độ chính xác để tránh gây áp lực lên cấu trúc wafer. Bộ sưởi này giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời duy trì độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C, giúp giảm tỷ lệ sản phẩm lỗi. Việc loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm trong quá trình in ấn và xử lý hóa chất. Quy trình nung lặp đi lặp lại giúp duy trì các kích thước quan trọng của wafer ổn định.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu nhờ vào việc hệ thống chỉ hoạt động khi cần thiết và duy trì nhiệt độ một cách hiệu quả, từ đó giảm chi phí vận hành mà không làm chậm tốc độ sản xuất.
Những điều cần lưu ý Bộ sưởi này có thể được tích hợp với các thiết bị xử lý và đóng gói thông thường. Tuy nhiên, các kết nối cơ học và đường dẫn khí cần được thiết lập cẩn thận trong quá trình lắp đặt. Thời gian cần thiết để điều chỉnh các thông số nung cũng khá ngắn. Hệ thống này tuân thủ các tiêu chuẩn không chứa chì, nhưng vẫn cần xác định nhiệt độ và thời gian nung phù hợp với từng loại vật liệu được sử dụng.