На лінії довжиною 300 мм достатньо зміни температури на 1°C під час процесу випалювання фотополімеру, щоб це вплинуло на контроль критичних розмірів...

На виробничому майданчику дрейф температури випікання всього на 0,5°C може змінити профіль фоторезисту на нанометри. Саме стільки достатньо, щоб...