На лінії довжиною 300 мм достатньо зміни температури на 1°C під час процесу випалювання фотополімеру, щоб це вплинуло на контроль критичних розмірів та призвело до зниження якості продукції. Ми створили платформу з короткохвильовим інфрачервоним освітленням, щоб усунути цю проблему. Важлива не лише процедура нагріву, а й термічна стабільність.
Енергія короткохвильового інфрачервоного світла швидко поглинається безпосередньо фотополімером, тож не виникає проблем із термічною інерцією матеріалу. Наші лампи забезпечують однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а точність регулювання температури становить ±0,2°C. Час реакції лампи становить менше 50 мс, тож температурний профіль залишається стабільним.
Сумісність з чистими приміщеннями є передбаченою в конструкції лампи. Ми використовуємо матеріали класу 1–100, підтримуємо рівень часток на нулевому рівні та організовуємо відведення газів так, щоб вони не потрапляли на шлях проходження світла через фотополімер. Кварцові оболонки та конструкція відбивача дозволяють усунути вплив випадкового світла, тож лампа не створює жодних фотохімічних завад під час процесу випалювання.
У процесі літографії процедури м’якого та жорсткого випалювання визначають кількість розчинника, необхідного для процесу, та забезпечують стабільний профіль фотополімеру. Точний контроль температури дозволяє досягти меншої нерівномірності ширини ліній та кращої точності нанесення матеріалу. Селективне поглинання енергії короткохвильовим інфрачервоним світлом скорочує час випалювання, при цьому зберігається контроль профілю температури. Це дозволяє підвищити продуктивність без виділення зайвого тепла.
У результаті отримуємо стабільні критичні розміри, менше відходів та стабільну ефективність процесу в різних партіях продукції. Витрати енергії також зменшуються, оскільки енергія йде саме туди, куди потрібно – у фотополімер, а не у системи нагріву.
Кілька практичних порад: лампи короткохвильового інфрачервоного світла потребують точної оптичної налаштування та чистого, фокусованого теплового випромінювання. Не слід використовувати їх разом із джерелами широкого спектру світла, якщо тільки не переглядається конструкція відбивача та фільтрів. Допуски при встановленні лампи є дуже строгими; якщо елементи для регулювання температури недостатньо розмірні, може виникнути термічна взаємодія між сусідніми зонами.
Необхідно провести короткий тестовий процес, щоб визначити „гарячі точки“ та налаштувати пірометр відповідно до фактичної емісії фотополімеру. Після цього процес залишається стабільним.