Neden altın kaplı yansıtıcılar, yarı iletkenlerin ısıtılması için en iyi çözümdür?
Waferlerin gazdan arındırılması ve kurutulması sırasında ısıya ihtiyaç duyulur – ve bu ısının hızlı bir şekilde elde edilmesi gerekir. Ancak asıl mesele sadece waferleri ısıtmak değildir; ısının doğru yere ulaşmasını sağlamaktır. Aksi takdirde makinenin diğer kısımları da ısınmış olur.
İşte burada kısa dalga infrared lambalar ve altın kaplı yansıtıcılar devreye girer.
Fiziksel prensipler oldukça basit. Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanır; ancak alüminyum çok fazla enerji emer. Altın ise farklıdır. Infrared ışığını etkili bir şekilde yansıtabilir; bu sayede daha fazla foton waferlere ulaşır ve daha azı yansıtıcıda kalır. Böylece çok daha yoğun ve odaklanmış bir ısı demeti elde edilir. Odak noktası bu kadar net olduğu için, substratın yüzey sıcaklığını kaybetmeden toplam gücü azaltmak mümkündür. Bu da kazan-kazan durumudur.
Bir de “gizli” bir avantaj var: Elektrik faturanız.
Bu lambalar, hızlı ısınma sürelerini sağlamak için yüksek güç yoğunluklarıyla çalışır. Eğer ucuz yansıtıcılar kullanırsanız, “gereksiz ısı” her yere yayılır. Bu durumda temiz oda için kullanılan HVAC sistemi, havadaki bu ısıyı uzaklaştırmak için daha fazla çalışmak zorunda kalır.
Altın kaplı yansıtıcılar kullanıldığında ise kendi soğutma sisteminize karşı mücadele etmek zorunda kalmazsınız. İşte gerçek enerji tasarrufu burada gerçekleşir. Bu sadece lamba ile ilgili değil; tüm odanın daha rahat çalışmasıyla ilgilidir.
Ancak bir dezavantajı var.
Altın oldukça hassastır. Sert kimyasallar kullanarak yüzeyini temizlemeye çalışırsanız, kaplama tamamen soyulur. Bu yüzden bakım konusunda dikkatli olmak gerekir. Eğer yüzeye toz veya kirler bulaşırsa verimlilik düşer. Aynı sonuçları elde etmek için gücü artırmak zorunda kalırsınız; bu da “yeşil fabrika” anlayışını bozar.
Ama eğer bunlara dikkat ederseniz, sadece bir ısıtma aracını hassas bir cihaza dönüştürmüş olursunuz. Artık gereksiz yere enerji harcamazsınız.