На линии упаковки по технологии упаковки на уровне кристаллов отсутствие свинца в припое не позволяет использовать импровизированные решения. Если нагрев слишком слабый, возникают поры и проблемы с сращиванием частей кристалла. Если же нагрев слишком интенсивный, дополнительные вещества перемещаются, что приводит к изменению критических размеров кристалла. Необходимо обеспечить однородный нагрев, который может осуществляться в стерильной среде, чтобы процесс происходил без сбоев.
Что важно для корректной работы системы
Мы создали этот предварительный нагреватель на основе кратковолнового инфракрасного излучения, используя кварцевые элементы с быстрой реакцией, что позволяет достигать высоких скоростей нагрева без перегрева. Равномерность температуры по всей поверхности кристалла составляет ±0,1°C, а циклический контроль обеспечивает стабильность температуры на протяжении всего времени нагрева. Зона нагрева предназначена для использования в стерильных помещениях класса 1–100; поверхности и уплотнители минимизируют образование частиц.
Для обеспечения стабильности процесса система поддерживает различные режимы нагрева фоторезиста – мягкий и жесткий нагрев – с точным контролем температуры и полной отслеживаемостью параметров процесса. Система предназначена для круглосуточной работы; компоненты рассчитаны на непрерывную работу, а конструкция минимизирует время простоев.
Почему эта система подходит для упаковки по технологии упаковки на уровне кристаллов
Для формирования сварных соединений без использования свинца необходим точный предварительный нагрев. Этот нагреватель сокращает время обработки за счет быстрого нагрева, а также обеспечивает однородность температуры, что снижает количество бракованных изделий. Отсутствие образования частиц способствует поддержанию высокого качества продукции при литографии и обработке фоторезиста. Повторяемость процесса нагрева обеспечивает стабильность критических размеров кристалла.
Энергопотребление снижается, поскольку система нагревается только тогда, когда это необходимо, и эффективно поддерживает температуру. Это снижает эксплуатационные расходы без уменьшения скорости производства.
Что необходимо учесть при использовании
Предварительный нагреватель может быть интегрирован с стандартными устройствами для обработки и упаковки, однако механические соединения и кабели должны быть правильно установлены во время монтажа. Ожидается короткий период на настройку параметров нагрева для конкретных материалов. Система соответствует требованиям, связанным с отсутствием свинца, но все равно необходимо определить оптимальные температуры и время нагрева для каждого материала.