На производственном участке выпекание фоторезиста — это не просто рекомендация, а обязательное требование. Говоря простыми словами: даже небольшое...

На производственном участке отклонение температуры запекания на 0,5°C способно сместить профиль фоторезиста на нанометры. Именно этого достаточно,...