Как правильно использовать термическое картографирование в производственных помещениях
Если вы по-прежнему полагаетесь на ручную выборку образцов на производстве чипов, то вы фактически действуете вслепую. Необходимо иметь возможность наблюдать за происходящим в реальном времени. Вот здесь и пригождаются высокоточные инфракрасные датчики. Они позволяют измерять температуру поверхности без необходимости физического контакта с самим чипом.
Это единственный способ. Если пытаться прикоснуться к чипу во время процесса нагрева, это приведет к загрязнению или механическим повреждениям чипа. Никто этого не хочет.
Проблемы, связанные с физикой процесса
Стандартные термопары не подходят для работы с чипами размером 300 мм. Они слишком медленны и мешают проведению измерений.
Наші инфракрасные системы работают за счет определения специфического электромагнитного излучения, исходящего от кремния. Но есть одна проблема: необходимо учитывать коэффициент излучаемости материала. При нагревании материал меняется, а значит, изменяются и показания датчика. Мы тратим много времени на настройку датчиков, чтобы игнорировать «шум», исходящий от стен печи. Нам нужны точные данные о состоянии чипа, а не температура комнаты.
Как сделать так, чтобы данные были полезными
Датчик, который просто показывает числа на экране, не особо полезен. Нужно подключить датчики напрямую к системе PLC или SCADA. Это позволяет создать цикл, который реагирует на изменения. Если датчик обнаруживает холодную зону на краю чипа, система мгновенно корректирует работу нагревательных элементов. Таким образом, не остается места для догадок – вы знаете, что все происходит правильно.
Реальность
Точность имеет свою цену. Инфракрасные датчики требуют чистого обзора. Если окно камеры запыляется из-за химических паров или продуктов распада, данные начинают быть неточными. Это раздражает, но так бывает.
Поэтому необходима надежная система очистки газов вокруг датчика. Необходимо сохранять чистоту оптических элементов. Ведь, честно говоря, самый дорогой датчик в мире бесполезен, если он видит через грязное окно. В результате получаются бесполезные данные.