Het correct uitvoeren van thermische meting in de fabriek
Als je nog steeds afhankelijk bent van manuele metingen in je waferfabriek, dan werkt dat eigenlijk als blind vliegen. Je moet weten wat er in real-time gebeurt. Hierbij komen hoge-precisies IR-sensoren van pas. Ze maken het mogelijk om de oppervlaktetemperatuur te meten, zonder de wafer zelf aan te raken.
Het is de enige manier om dit te doen. Als je probeert de wafer aan te raken tijdens een proces bij hoge temperaturen, veroorzaak je alleen maar contaminatie of mechanische schade. Niemand wil dat.
De moeilijkheid van de fysica
Standaard thermocoupons zijn niet geschikt voor 300mm-wafer. Ze zijn te langzaam en belemmeren bovendien de meting.
Onze IR-systemen werken door specifiek elektromagnetisch stralingssignaal op te vangen dat van het silicium komt. Hier is echter een probleem: je moet rekening houden met de emissiviteit van het materiaal. Het materiaal verandert wanneer het warmer wordt, waardoor de metingssignalen ook veranderen. We besteden veel tijd aan het kalibreren van onze sensoren, zodat we het ‘ruisignaal’ dat van de wanden van de oven komt, kunnen negeren. We willen de werkelijke toestand van de wafer weten, niet de temperatuur van de ruimte.
Het maken van bruikbare gegevens
Een sensor die alleen maar cijfers op het scherm geeft, is niet erg nuttig.
We sluiten deze sensoren rechtstreeks aan op je PLC of SCADA-systeem. Dit zorgt voor een systeem dat echt kan reageren op veranderingen. Als de sensor een koud gebied op de rand van de wafer detecteert, past het systeem de verwarmingselementen binnen enkele milliseconden aan.
Nu hoef je geen gokken meer te doen. Je weet zeker dat de instellingen correct zijn.
De realiteit
Precisie kost geld. Er is ruimte nodig voor de sensoren, en ze hebben hun eigen beperkingen.
IR-sensoren hebben een heldere zichtlijn nodig. Als het raam van de kamer bedekt raakt met chemische dampen of andere residuen, gaan de gegevens verkeerd. Het is frustrerend, maar het gebeurt wel.
Daarom is het belangrijk om een goed gaszuiveringsysteem te hebben voor de lenzen. Houd de optica schoon. Want eerlijk gezegd: de duurste sensor ter wereld is nutteloos als deze door een vuil raam kijkt. Dan krijg je gewoon onbruikbare gegevens.