클리어 쿼츠 적외선 튜브 2700W
생산 현장에서는 포토레지스트를 소성할 때 특정 온도를 유지하는 것이 단순한 권장사항이 아니라 필수적인 요구사항입니다. 명확히 말하자면, 소성 온도가 2°C만 변동해도 치명적인 오차가 발생할 수 있으며, 그러한 오차는 점점 더 커집니다.
클리어 쿼츠 내장형 2700W...
반도체용 쿼츠 할로겐 히팅 전구
Fab 현장에서 베이크 온도가 0.5°C 변동하면 포토레지스트 프로파일이 나노미터 단위로 이동할 수 있다. 이 정도 차이로도 선폭 제어에 실패해 대량 폐기될 수 있다. 쿼츠 할로겐 히팅 벌브는 이 과정에서 열적 기준점으로 작용하며, 열 예산을 웨이퍼에 정확히 유지하도...