웨이퍼용 고정밀 IR 센서
팹에서 정확한 온도 측정을 하는 방법
만약 여전히 웨이퍼 제작 과정에서 수동 샘플링에 의존하고 있다면, 그건 마치 암흑 속에서 작업하는 것과 같습니다. 실시간으로 무슨 일이 일어나고 있는지 확인해야 합니다. 바로 이때 고정밀 IR 센서가 필요합니다. 이 센서들 덕분에...
웨이퍼 가열을 위한 안전 거리
웨이퍼 가열 과정에서 발생하는 2차 오염 문제를 막는 방법
고부하 생산을 진행할 때, 고장 난 적외선 램프는 심각한 문제가 됩니다. 하지만 문제는 단순히 가동 중단에 그치지 않습니다.
진짜 문제는 석영관이 파손될 때 발생합니다. 갑자기 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼...
에너지 효율적인 웨이퍼 히터
불필요한 에너지 낭비를 멈추세요: 왜 금 코팅된 반사체가 중요한가요? 반도체 제조 과정에서 에너지가 낭비되는 것은 좋지 않은 설계의 결과입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트의 에너지가 웨이퍼에 도달해야 합니다. 대부분의 일반적인 반사체는 너무 많은 에너지가 장비...
웨이퍼 경화 램프용 반사기
와이어 처리 시스템이 오븐처럼 변하는 것을 막으세요.
와이어를 처리하기 위해 고출력의 적외선 램프를 사용한다면, 그 문제점을 잘 알고 있을 것입니다. 열은 원하는 곳으로만 가지 않습니다. 적절한 반사체가 없으면 적외선 광선들이 사방으로 퍼져나갑니다. 결국, 비싼 장비...
적외선 웨이퍼 히터 램프의 비용
웨이퍼 가열 과정에서 비용을 절감하면서도 품질은 유지하는 방법에 대해 알아보겠습니다. 반도체 제조 과정에서는 이윤률이 매우 낮기 때문에, 모든 비용을 절약하는 것이 중요합니다. 웨이퍼를 적절한 온도로 가열할 수 있는 시스템이 필요하지만, 그렇다고 해서 무작정 많은 돈...
무연 납땜 와이어 예열기
웨이퍼 수준의 패키징 라인에서는 무연 납땜에 있어서 성급한 조치는 용납되지 않습니다. 가열을 너무 적게 하면 기공이 생기고 납땜 품질이 떨어집니다. 반대로 가열을 너무 많이 하면 도핑제가 이동하여 중요한 치수들이 변하게 됩니다. 따라서 청정실 내에서 일관된 가열이 이...
자동화 웨이퍼 건조 히터
스핀 드라이 사이클이 종료되었는데 웨이퍼는 여전히 젖어 있다. 표준 히터는 안정화에 시간이 너무 오래 걸리고 척 온도는 표면 전반에 걸쳐 편차가 발생한다. 결과는 즉시 나타난다—잔류물, 패턴 슬립, 그리고 증가하는 스크랩률. 생산 현장에서는 건조 및 베이크 단계가 단...