공장 건조 공정의 에너지 감사

더 이상 히터 때문에 웨이퍼가 망가지는 일이 없도록 하세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황이며,...