ויסת מתח למעבדת IR

בקו הייצור, ביצועי אפיית הפוטורזיסט נקבעים בננומטרים ומעלות. סטיית טמפרטורה של 0.5°C באפייה רכה או קשה יכולה להזיז את הסטייה בממד הקריטי, לפגוע...