V prostoru výroby se dveře pečicího stroje otevřou a můžete to pocítit – pokud teplota jen trochu změní se, profil fotorezistentu začne kolabovat. V...

V prostředí výroby je jeden jediný teplotní výkyv během zpracování fotorezistoru dostatečný k tomu, aby bylo nutné celou výrobu zrušit. Počet waferů...