
Zastavení noční můry sekundární kontaminace při zahřívání polovodičových destiček
Při vysoké kapacitě výroby představuje vyhořelá infračervená lampa opravdový problém. Ale nejde jen o dobu přestávky v provozu. Skutečná noční můra nastane, když praskne kvartová trubice. Najednou na vaše polovodičové destičky padají střepy skla a chemické látky. To je sekundární kontaminace, která může během několika sekund zničit celou šarvu. Naše topicí systémy jsou navrženy tak, aby se to nestalo.
Najít správnou rovnováhu: vzdálenost a teplota
Vždy existuje rovnováha mezi hustotou tepla a bezpečností. Chcete mít lampu blízko destičky, abyste dosáhli vysoké teploty, ale pokud je příliš blízko, tepelná expanze může způsobit, že se trubice dotkne samotné destičky.
V tomto ohledu netvoříme odhady. Vypočítáváme bezpečnostní vzdálenost na základě výkonu lampy a průměru trubice, aby vždy existovala spolehlivá ochranná zóna.
Potom je tu ještě otázka hardwaru. Lampy s vysokým výkonem se velmi zahřívají – natolik, že mohou pokazit montážní prvky, pokud nejsou dostatečně odolné. Používáme materiály, které se při zahřátí příliš neroztahují, čímž se lampa udržuje ve správné poloze.
A ještě jedna rada: dávejte pozor na chlazení. Pokud váš systém nedokáže zvládnout okolní teplotu, lampy se vyhoří mnohem rychleji, a tehdy roste riziko prasknutí trubice.
Zabránění kontaminaci
Aby se zabránilo kontaktu nečistot s polovodičovými destičkami, umístíme mezi topicí prvek a destičku fyzickou bariéru. Používáme kvalitní kvartový štít, který se nachází přímo mezi topicím prvkem a destičkou. Pokud lampa selže a praskne, štít zachytí její úlomky. Vaše destičky zůstanou čisté. Je to prosté.
Také dbáme na to, co se dostává do stroje. V oblasti zahřívání nenajdete žádné levné lepidla nebo nízkokvalitní tmely. Proč? Protože tyto materiály při zahřátí uvolňují plyny, které zanechávají tenkou, neviditelnou vrstvu na destičkách. Od konektorů R7 po podpůrné prvky – každá součást je vybrána tak, aby neuvolňovala chemikálie do procesu.
Kompromis
Nyní přichází upřímná část. Přidání ochranného štítu sice trochu omezí množství infračervené energie. Všimnete si mírného poklesu efektivity zahřívání. Abychom to vynahradili, možná budete muset zvýšit výkon nebo upravit dobu cyklu. Je to však malá cena za to, abyste nezničili celou šarvu kvůli selhání jedné lampy.