Správné zpracování teplotních dat v továrně na výrobu polovodičů
Pokud stále spoléháte na ruční měření v továrně na výrobu polovodičů, v podstatě jednáte naslepo. Potřebujete vidět, co se děje v reálném čase. Právě zde přicházejí na pomoc senzory s vysokou přesností pracující v infračerveném spektru. Umožňují nám měřit teplotu povrchu, aniž bychom museli polovodičový destičku vůbec dotknout.
Je to jediný způsob, jak to udělat. Pokuste se dotknout polovodičové destičky během procesu zahřívání – tím jen zvyšujete riziko kontaminace nebo mechanického poškození. To nikdo nechce.
Složitosti spojené s fyzikou
Standardní termoelementy prostě nejsou vhodné pro měření teploty 300mm velkých polovodičových destiček. Jsou příliš pomalé a navíc překážejí při měření.
Naše infračervené senzory fungují tak, že zachycují specifické elektromagnetické vyzařování vycházející ze silikonu. Ale je tu jeden problém: musíme vzít v úvahu emisivitu materiálu. Materiál se mění při zahřívání a s ním i hodnoty měření. Trávíme hodně času kalibrací senzorů, abychom ignorovali „šum“ pocházející ze stěn pece. Chceme znát skutečný stav polovodičové destičky, ne teplotu místnosti.
Využití dat ve váš prospěch
Senzor, který pouze zobrazuje číslo na obrazovce, není příliš užitečný.
Tyto senzory připojujeme přímo do vašeho systému PLC nebo SCADA. Tím vznikne cyklus, který reaguje v reálném čase. Pokud senzor detekuje chladné místo na okraji destičky, systém okamžitě upraví teplotu ohřevových prvků během několika milisekund. Najednou zmizí veškeré odhady – už nebudete muset doufat, že teplota je správná, budete vědět, že ano.
Realita
Přesnost není zadarmo. Vyžaduje prostor a má své specifické vlastnosti.
Infračervené senzory potřebují čistou linii výhledu. Pokud se okno komory zatemní kvůli chemickým parám nebo usazeninám, data začnou být nepřesná. Je to frustrující, ale stává se to.
Proto potřebujete dobrý systém čištění plynu kolem senzorů. Udržujte optiku čistou. Upřímně řečeno: ten nejdražší senzor na světě je k ničemu, pokud sleduje scénu skrz špinavé okno. Budete mít jen nesmyslná data.