防止晶圆固化系统变成“烤箱”
如果你使用高功率的红外灯来对晶圆进行固化处理，那你肯定知道其中存在的难题。热量不会乖乖地停留在你希望它所在的位置上。如果没有合适的反射器，那些红外辐射就会四处散射。这样一来，昂贵设备的内部就会变成一个巨大的散热体，设备外壳的温度会升高到足以烫伤人的程度，而那些敏感的电子元件也会因为过高的温度而出现故障。简直一团糟。
让热量准确到达所需位置的方法
解决这个问题的方法其实很简单：使用精准的反射器，将红外能量集中到特定的方向上。这就好比用手电筒照明，而不是让灯泡照亮整个房间。这样，热量就不会泄漏到设备外壳中，而是直接照射在晶圆上。这样一来，就能获得理想的表面温度，同时保持空气和金属框架的低温状态。
所使用的材料
通常情况下，我们会选择纯度极高的铝材作为反射器材料。它是一种非常可靠的材料，适用于大多数固化处理场景。如果你有足够的预算，并且需要更高的反射率来处理短波或中波红外光，那么可以选择镀金材质的反射器。虽然成本更高，但性能更好。不过需要注意的是，反射器的几何形状必须非常精确。如果曲率偏差哪怕只有几毫米，就可能导致晶圆上出现局部过热的情况。众所周知，哪怕只有一个点过热，都可能毁掉整批晶圆。
需要了解的权衡因素
虽然定向加热可以解决“设备外壳过热”的问题，但它也会使晶圆上的热量更为集中。如果你将高功率的灯与精准的反射器结合使用，升温速度会非常快。但要注意，很容易超过目标温度。为了保持稳定性，你需要使用高效的PID控制器，并且要确保反射器的定位始终准确无误。另外，不要认为设置好之后就可以不管了。机械振动是不可避免的，因此每隔几个月就应该检查一下反射器的定位情况，确保一切都在正确的位置上。