ในกระบวนการผลิต OLED การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 5% ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็สามารถส่งผลให้ขนาดสำคัญของชิ้นส่วนเปลี่ยนแปลงได้อย่างรวดเร็ว และ OLED ก็จะแสดงผลการเปลี่ยนแปลงนั้นออกมาทันที ดังนั้น เครื่องอบจึงต้องสามารถรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่กำหนดไว้ และทำเช่นนี้ซ้ำๆ ไปเรื่อยๆ เราได้ออกแบบเครื่องอบสำหรับการผลิต OLED มาเพื่อรองรับสถานการณ์เช่นนี้โดยเฉพาะ
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่องอบ
เราใช้แสง NIR ที่มีการควบคุมสเปกตรัมอย่างเข้มงวด เพื่อให้พลังงานไปกระทบกับโฟโตรีซิสต์และวัสดุที่ใช้ในการผลิต แทนที่จะถูกนำไปใช้ในการเพิ่มอุณหภูมิภายในเครื่องอบ โดยมีเป้าหมายให้อุณหภูมิบนวัสดุมีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C และมีความสามารถในการรักษาอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ พลังงานที่ออกมาจากเครื่องอบจะคงที่ตลอดเวลา โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง และมีการเปลี่ยนแปลงของความเข้มของพลังงานน้อยกว่า 5% นอกจากนี้ เครื่องอบนี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 อีกด้วย และด้วยการออกแบบที่ดี จึงไม่มีการปล่อยอนุภาคใดๆ ออกมา ไม่มีการแตกหักของวัสดุ และไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป
เหตุใดเครื่องอบนี้จึงเหมาะสำหรับกระบวนการผลิต OLED
ในกระบวนการผลิต OLED จำเป็นต้องมีการอบวัสดุในอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ เพื่อรักษาความหนาของวัสดุ ความสามารถในการยึดเกาะของวัสดุ และการกำจัดส่วนที่เกินออกไป เครื่องอบนี้ช่วยรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่กำหนดไว้ ทำให้การอบวัสดุมีความสม่ำเสมอ และลดจำนวนครั้งที่ต้องทำการผลิตใหม่ นอกจากนี้ การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการผลิตอีกด้วย และการออกแบบที่ดียังช่วยลดการใช้พลังงานอีกด้วย ดังนั้น กระบวนการผลิตจึงมีประสิทธิภาพมากขึ้น และมีข้อผิดพลาดน้อยลง
สิ่งที่ควรคาดหวังเมื่อนำเครื่องอบนี้มาใช้
เครื่องอบนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถนำมาใช้กับเครื่องอบที่มีอยู่ได้ แต่การติดตั้งก็ยังขึ้นอยู่กับรูปร่างของเครื่องอบและการไหลเวียนของอากาศด้วย ควรมีเวลาสำหรับการปรับแต่งเครื่องอบให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้ในการผลิต หลังจากนั้น การบำรุงรักษาก็จะเป็นไปอย่างง่ายดาย โดยเพียงแค่เปลี่ยนหลอดไฟตามกำหนดเวลา และรักษาความสะอาดของอุปกรณ์ต่างๆ ระบบก็จะสามารถรักษาค่าอุณหภูมิที่ต้องการได้ตลอดเวลา