ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงข้อแนะนำเท่านั้น แต่เป็นข้อกำหนดที่จำเป็นต้องปฏิบัติตาม พูดให้เข้าใจง่ายขึ้นก็คือ หากอุณหภูมิการอบเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2°C เท่านั้น ก็จะส่งผลให้มีความผิดเพี้ยนในขนาดของชิป และความผิดเพี้ยนนี้จะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว
ท่ออินฟราเรดขนาด 2700 วัตต์นี้ถูกออกแบบมาเพื่อขจัดปัญหาดังกล่าวออกไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เมื่อใช้ท่อนี้ที่กำลัง 2700 วัตต์ จะได้ความร้อนที่สูงขึ้นอย่างรวดเร็ว และคงที่ ไม่มีปัญหาเรื่องความล่าช้าในการส่งความร้อน แสงอินฟราเรดจะกระทบเป้าหมายโดยตรง ดังนั้นจึงไม่มีการสูญเสียเวลาไปกับการอุ่นพื้นที่โดยรอบ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
ควอตซ์มีความบริสุทธิ์สูง และมีการปล่อยก๊าซออกมาน้อยมาก นอกจากนี้ ตัวท่อที่โปร่งใสยังช่วยให้การส่งผ่านแสงมีความสม่ำเสมอ ดังนั้นการถ่ายโอนความร้อนจึงเป็นไปอย่างที่คาดหวัง ผลลัพธ์คือ อุณหภูมิจะคงที่อยู่ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งบริเวณที่อบ
เหตุใดจึงเหมาะสำหรับกระบวนการลิโทกราฟีและการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ ในกระบวนการลิโทกราฟีและการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ คุณไม่สามารถเลือกระหว่างความสม่ำเสมอกับความสะอาดได้ คุณต้องการทั้งสองอย่าง ท่อนี้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และถูกออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดฝุ่นขึ้นมาเลย ดังนั้นคุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องการสูญเสียผลผลิตเนื่องจากมลพิษระหว่างการอบ
กำลัง 2700 วัตต์ช่วยให้เวลาในการอบสั้นลง และช่วยให้กระบวนการมีความเสถียรมากขึ้น นอกจากนี้ เนื่องจากความร้อนถูกส่งไปตามความต้องการ คุณจึงไม่ต้องเสียพลังงานไปโดยเปล่าประโยชน์
สิ่งที่ต้องคำนึงถึงในขั้นตอนการติดตั้ง ขั้นตอนการติดตั้งสำคัญอยู่ที่การจัดวางตำแหน่งของท่อให้เหมาะสม นั่นคือสิ่งที่ช่วยให้อุณหภูมิคงที่อยู่ที่ ±0.1°C ควรตรวจสอบความเข้ากันได้ของจุดเชื่อมต่อ การติดตั้ง และการไหลเวียนของอากาศให้เหมาะสมกับลักษณะทางความร้อนของท่อ หากการไหลเวียนของอากาศไม่เหมาะสม ก็จะทำให้เกิดความแตกต่างของอุณหภูมิ และคุณจะต้องแก้ไขปัญหาที่ผิดไป
ควรวางแผนการเปลี่ยนท่อในช่วงเวลาที่เหมาะสม แม้ว่าควอตซ์จะมีความทนทานสูง แต่ก็ยังมีโอกาสเสื่อมสภาพได้ ดังนั้นควรเลือกท่อที่เหมาะสมกับกระบวนการผลิต เพื่อให้กระบวนการมีความเสถียร