웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼 가열 과정에서 발생하는 2차 오염 문제를 막는 방법 고부하 생산을 진행할 때, 고장 난 적외선 램프는 심각한 문제가 됩니다. 하지만 문제는 단순히 가동 중단에 그치지 않습니다. 진짜 문제는 석영관이 파손될 때 발생합니다. 갑자기 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼...