シャードの発生を防げ：IR硬化処理中のウェーハを清潔に保つ方法
ウェーハ製造工程でランプが壊れるという経験がある方なら、それがどれほど悪夢的なことかご存知でしょう。単に機械が停止するだけではありません。その後には混乱が生じます。
重負荷によって石英管が破損すると、単に電球が壊れるだけでは済みません。ガラスの破片や金属片がシリコンの上に降り注ぎます。たった一瞬のミスで、大量のウェーハが廃棄処分になってしまいます。これは費用的にも大変で、非常に厄介です。しかし、これは完全に避けられる問題です。
なぜ石英管が破損するのか
ほとんどの場合、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。これに対処するために、高純度の融成石英を使用します。この素材は安価な素材に比べて膨張や収縮が少ないため、急激な加熱や冷却にも耐えられ、微細なクラックが発生するのを防ぎます。
しかし、私たちは石英管だけに頼っているわけではありません。補助的な保護装置として「シャッターシールド」を使用します。もし内部のフィラメントが壊れても、このシールドが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは清潔なままで、作業もストレスフリーに進みます。
熱への対処法
高出力のランプは迅速な硬化処理に役立ちますが、密封部分に大きな圧力がかかります。そのため、ガスが漏れ出さないように、強化されたエンドキャップや電極を使用します。
ちなみに、ランプを限界まで使っている場合は、冷却システムをしっかりチェックしてください。空気の流れが悪いと、ランプの端に熱がこもり、そこで破損が起こります。
設置方法
コネクタを標準化しておくことで、しっかりと接続できます。緩んだ接続は避けた方が良いです。そうしないと、電気アークが発生し、ランプの端が損傷してしまいます。ラックを配線する際は、全体に均等な張力がかかっているか確認してください。
もちろん、この保護装置のおかげで、裸の石英管に比べて少ししかIR光のパワーが得られないというデメリットもあります。そのため、硬化時間を数秒長くする必要があるかもしれません。
正直なところ、これは妥当な交換です。汚染されたクリーンルームという大災害に比べれば、数秒の追加時間なんて大したことありません。