دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از رزولورهای پوشیده شده با طلا اهمیت دارد؟
در کارهای مربوط به نیمههادیها، اتلاف انرژی نشانهای از طراحی ضعیف است. وقتی که از هیتر برای گرم کردن ویفر استفاده میکنیم، میخواهیم که تمام انرژی دریافتی به ویفر برسد. اکثر رزولورهای استاندارد، انرژی زیادی را به بدنه دستگاه منتقل میکنند؛ در واقع این کار باعث گرم شدن بیدلیل دستگاه میشود. به همین دلیل از رزولورهای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
دلیلش این است که طلا میتواند نور مادون قرمز را منعکس کند. در حالی که اکثر مواد، نور مادون قرمز را جذب یا پراکنده میکنند، طلا آن را دوباره به سمت هدف برمیگرداند.
ما در واقع فقط هوا را گرم نمیکنیم؛ بلکه فوتونها را به سمت هدف هدایت میکنیم. با منعکس کردن تقریباً تمام انرژی مادون قرمز به سمت هدف، یک منطقه گرمایی متمرکز ایجاد میشود. بهترین نکته این است که نیازی نیست توان خروجی دستگاه را خیلی بالا ببریم تا به دمای مورد نظر برسیم.
تنظیم شکل رزولور
نکته مهم این است که طلا تنها نیمی از راه را طی کرده است؛ شکل رزولور نیز باید دقیق باشد. اگر منحنی رزولور حتی کمی اختلال داشته باشد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. همه میدانیم که این امر منجر به ویفرهای تغییر شکل داده شده و مشکلات مربوط به فرآیندهای شیمیایی خواهد شد. ما زمان زیادی صرف میکنیم تا نقطه تمرکز گرما دقیقاً روی سطح ویفر قرار بگیرد. این تنها راه برای داشتن نقشه گرمایی یکنواخت در سراسر قطر ویفر است.
مشکلات و نکات مربوط به نصب
البته، یک مشکل وجود دارد: رزولورهای پوشیده شده با طلا حساس هستند. لطفاً، برای حفظ دستگاه خود، از ابزارهای خراشنده برای تمیز کردن آنها استفاده نکنید؛ زیرا این کار باعث خراشیده شدن سطح رزولور و کاهش قابلیت بازتاب نور میشود. همچنین، حتماً از دستکش استفاده کنید؛ چرا که روغنهای پوستی در دماهای بالا میتوانند در لایه رزولور باقی بمانند و لکههای تیرهای ایجاد کنند که نمیتوان آنها را از بین برد.
همچنین، در مورد سیمکشی نیز باید مراقب باشید؛ اگر از توان بالایی برای رسیدن به دمای مورد نظر استفاده میکنید، حتماً مطمئن شوید که منابع تغذیه دستگاه قادر به تحمل جریانهای بالا هستند.
از آنجایی که سیستمهای پوشیده شده با طلا، گرمای زیادی را روی ویفر تولید میکنند، ممکن است کنترلکنندههای PID دستگاه کمی ناپایدار عمل کنند. احتمالاً نیاز خواهد بود که آنها را دوباره تنظیم کنید تا دمای دستگاه از حد مورد نظر فراتر نرود.