Die Wafer warm halten: Warum wir auf Infrarotheizung für unsere Transportwagen umgestiegen sind
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig es ist, Wafer oder Komponenten von einem Ort zum anderen zu transportieren – schließlich muss man ständig darauf achten, dass sie nicht abkühlen. Das ist wirklich eine Herausforderung.
Um dieses Problem zu lösen, haben wir kurzwellige Infrarotheizlampen in die Transportwagen eingebaut.
Der Vorteil dieser Heizmethoden besteht darin, dass sie die Energie direkt auf das zu heitzende Objekt richten. Das bedeutet, dass weniger Energie verschwendet wird.
Energieeinsparung
Herkömmliche Widerstandsheizungen dienen im Grunde nur dazu, den Raum zu erwärmen. Dabei wird viel Energie verschwendet, nur damit ein einzelnes Bauteil warm bleibt. Das wollen wir natürlich vermeiden.
Durch die Verwendung von Infrarotheizungen wird nur das zu heitzende Objekt erwärmt. Dadurch sinken die Kosten pro Zyklus erheblich.
Außerdem starten diese Lampen schnell in Betrieb. Man muss nicht stundenlang warten, bis die Heizung die richtige Temperatur erreicht hat. Dadurch entlastet sich das Stromnetz der Fabrik. Doch Achtung: Da die Heizung so intensiv wirkt, muss man vorsichtig mit den PID-Steuerungen umgehen. Andernfalls kann es zu thermischen Schäden kommen – und das will niemand.
Sauberkeit wahrt
In einer Fabrik kann bereits ein einziger Staubkorn katastrophale Folgen haben.
Wir verwenden Quarzglasgehäuse für die Lampen – dadurch entstehen keine Gase oder Partikel. Um sicherzustellen, dass keine Energie verschwendet wird, umhüllen wir die Lampen außerdem mit Edelstahlreflektoren. Dadurch wird jede einzelne Photonenergie auf das zu heizende Objekt gelenkt, anstatt ins Umfeld abzustrahlen.
Auf der elektrischen Seite verwenden wir hochwertige Anschlüsse. Die Transportwagen bewegen sich schließlich sehr oft. Es darf auf keinen Fall zu lose angebrachten Kabeln kommen, die zu Problemen führen könnten.
Der „grüne“ Aspekt
Wir sprechen oft über „grüne Fabriken“, aber genau hier kommt es darauf an.
Wenn das System nur dann Energie verbraucht, wenn sie tatsächlich benötigt wird, nimmt die Kohlenstoffbilanz ab. Das ist eine einfache Möglichkeit, die Transportphase in der Fertigung deutlich umweltfreundlicher zu gestalten. Es macht einfach Sinn.