http://warm-ir-heate-source.com/zh/tags/%E8%87%AA%E5%8A%A8%E5%8C%96/ Recent content in 自动化 on Primary Warm IR Heat Source Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/zh/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/zh/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="自动晶圆干燥加热器"></p> <p>脱水旋转周期结束，晶圆仍然潮湿。标准加热器稳定时间过长，夹具温度在表面上波动。问题立刻显现——残留物、图案偏移，报废率上升。在生产线上，干燥和烘烤步骤不是停机时间，而是受控的热处理过程。如果加热不稳定，光刻胶轮廓会发生变化，关键尺寸（CD）控制收紧，颗粒开始出现在不应存在的位置。自动晶圆干燥加热器就是我们消除工艺变异的手段。</p>