用于晶圆的精密红外传感器

在芯片制造过程中，如何准确获取温度数据至关重要。如果你仍然依赖人工抽样来检测晶圆的温度，那无疑是在盲目操作。你需要实时了解晶圆表面的实际情况。这时，高精度的红外传感器就派上用场了——它们无需直接接触晶圆，就能精确检测出其表面温度。 这是唯一的可行方法。如果在高温环境下尝试直接触碰晶圆，只会导致污染...