http://warm-ir-heate-source.com/zh/tags/%E7%AE%80%E7%9F%AD/ Recent content in 简短 on Primary Warm IR Heat Source Hugo zh Wed, 17 Jun 2026 11:05:32 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/zh/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Wed, 17 Jun 2026 11:05:32 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/zh/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="短波红外灯半导体"></p> <p>在300毫米光刻线上，光阻烘烤过程中的1°C温度波动就足以影响关键尺寸的精度，进而降低产品良率。我们设计了<a href="https://o-yate.com">短波红外灯</a>装置，以此来消除这种不确定性。这里重要的不是简单的加热，而是热稳定性。</p> <p>从技术层面来看，短波红外能量能够迅速被光阻层吸收，因此无需考虑基材的热惯性问题。我们的灯具能够在整个烘烤区域内保持±0.1°C的均匀温度，而设定点的重复性则可达到±0.2°C。响应时间不到50毫秒，因此温度控制非常精准，不会出现过度升温的情况。</p>