干燥 on Primary Warm IR Heat Source

工厂干燥系统的能源审计

Wed, 29 Jul 2026 03:39:41 +0800

停止让加热器破坏你的晶圆吧！
如果你在操作100级洁净室，那么你一定知道其中的风险有多大。哪怕有一点微小的碎片或加热元件释放出的气体，都会导致晶圆报废。这可以说是一场高风险的游戏，稍有差错就会造成彻底的失败。

因此，我们不再使用传统的加热器，而是改用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。**秘诀就在于石英本身。**我们所使用的硅石几乎不含任何杂质。如果你曾经使用过劣质石英，那么你就知道，经过几次加热后，它就会变得浑浊不清。而我们的石英则保持清澈状態，且化学性质稳定，不会与工厂内的任何物质发生反应。这样，你就能获得所需的温度，同时不必担心金属离子会混入生产过程中。

OLED制造用干燥灯

Wed, 24 Jun 2026 00:41:50 +0800

在光刻胶软化处理过程中，如果温度波动达到5%，那么关键尺寸就会迅速发生变化。OLED组件也会立刻显示出这种变化。因此，干燥设备必须保持恒定的温度，且需要不断重复这一过程。我们设计的OLED制造用干燥灯正是为应对这样的需求而制造的。

关键在于精确的控制 我们采用具有精准光谱控制功能的近红外光源，这样能量就能准确作用于光刻胶和基板上，而不会被用来加热水室。我们的目标是让晶圆上的温度均匀性控制在±0.1°C以内，同时确保温度控制的稳定性。该设备的输出功率可以持续稳定，无需频繁维护，其性能稳定性可维持5,000小时以上，强度波动幅度则低于5%。此外，该设备还适合在1级到100级的洁净室环境中使用，而且其设计不会产生任何颗粒物，也不会出现气体释放或表面剥落的情况，更不存在热点问题。

自动晶圆干燥加热器

Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800

脱水旋转周期结束，晶圆仍然潮湿。标准加热器稳定时间过长，夹具温度在表面上波动。问题立刻显现——残留物、图案偏移，报废率上升。在生产线上，干燥和烘烤步骤不是停机时间，而是受控的热处理过程。如果加热不稳定，光刻胶轮廓会发生变化，关键尺寸（CD）控制收紧，颗粒开始出现在不应存在的位置。自动晶圆干燥加热器就是我们消除工艺变异的手段。