Lò nướng phòng sạch với bộ sưởi hồng ngoại

Sun, 19 Jul 2026 08:05:07 +0800

Đảm bảo rằng các thiết bị sưởi trong phòng sạch không gây ra sự cố hỏng hóc
Trong phòng sạch, không có khái niệm “sự cố điện nhỏ”. Mọi thứ đều phải hoạt động một cách hoàn hảo. Khi chúng tôi lắp đặt các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại trong những không gian này, điều đáng lo ngại nhất chính là dòng điện rò rỉ vào vỏ máy. Chỉ cần có một chỗ cách điện bị hỏng, khu vực vô trùng sẽ bị ô nhiễm; tệ hơn nữa, toàn bộ hệ thống có thể ngừng hoạt động. Không ai muốn gặp phải tình huống này vào buổi chiều thứ Sáu cả.

Bộ phận làm nóng trong lò bằng chất bán dẫn

Mon, 29 Jun 2026 02:20:23 +0800

Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc nhiệt độ thay đổi chỉ nửa độ cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của sản phẩm, khiến cho lớp chất bảo vệ bề mặt wafer bị ảnh hưởng ngay từ giai đoạn tiền xử lý. Do đó, chúng ta cần có nguồn nhiệt ổn định, chứ không phải nguồn nhiệt không ổn định.

Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi thiết kế bộ phận gia nhiệt sao cho có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Nhờ vậy, mỗi lần xử lý nhiệt đều diễn ra trong điều kiện ổn định. Bộ phận gia nhiệt này cũng giữ được tính sạch sẽ – không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động – và tuân thủ các quy định của phòng sạch loại 1–100.

Lò Nướng on Primary Warm IR Heat Source

Lò nướng phòng sạch với bộ sưởi hồng ngoại

Bộ phận làm nóng trong lò bằng chất bán dẫn